Ýöriteleşdirilen gazlarumumydan tapawutlanýarsenagat gazlarysebäbi olar ýöriteleşdirilen ulanylyşa eýedir we belli bir pudaklarda ulanylýar. Olaryň arassalygy, hapaçylyk mukdary, düzümi, şeýle hem fiziki we himiki häsiýetleri üçin aýratyn talaplary bar. Senagat gazlary bilen deňeşdirilende, ýöriteleşdirilen gazlar dürli görnüşlerde has köpdürli, ýöne öndüriş we satuw möçberleri azdyr.

Thegaryşyk gazlarwestandart kalibrleme gazlaryBiz köplenç ulanýan ýöriteleşdirilen gazlaryň möhüm bölekleridir. Garyşyk gazlar adatça umumy garyşyk gazlara we elektron garyşyk gazlara bölünýär.

Umumy garyşyk gazlar aşakdakylary öz içine alýar:lazer garyşyk gaz, gurallar arkaly anyklaýyş garyşyk gaz, kebşirleme garyşyk gaz, saklamak garyşyk gaz, elektrik yşyk çeşmesi garyşyk gaz, lukmançylyk we biologik barlaglar garyşyk gaz, dezinfeksiýa we sterilizasiýa garyşyk gaz, gurallar arkaly signalizasiýa garyşyk gaz, ýokary basyşly garyşyk gaz we nol derejeli howa.

Elektron gaz garyndylaryna epitaksial gaz garyndylary, himiki bug çökündi gaz garyndylary, lehim gaz garyndylary, aşyndyrma gaz garyndylary we beýleki elektron gaz garyndylary girýär. Bu gaz garyndylary ýarymgeçiriji we mikroelektronika senagatynda aýrylmaz rol oýnaýar we uly göwrümli integral mikroshema (LSI) we örän uly göwrümli integral mikroshema (VLSI) önümçiliginde, şeýle hem ýarymgeçiriji enjam önümçiliginde giňden ulanylýar.

Elektron garyşyk gazlaryň 5 görnüşi iň köp ulanylýar

Garyşyk gazy doping etmek

Ýarymgeçiriji enjamlarynyň we integral mikrosxemalaryň önümçiliginde, islenýän geçirijiligi we garşylygy bermek üçin ýarymgeçiriji materiallara belli bir garyndylar goşulýar, bu bolsa rezistorlaryň, PN birikmeleriniň, gömülen gatlaklaryň we beýleki materiallaryň öndürilmegine mümkinçilik berýär. Doping prosesinde ulanylýan gazlar doping gazlary diýlip atlandyrylýar. Bu gazlara esasan arsin, fosfin, fosfor triflorid, fosfor pentaflorid, myşýak triflorid, myşýak pentaflorid,bor triflorid, we diboran. Goşundy çeşmesi, adatça, çeşme şkafynda daşaýjy gaz (meselem, argon we azot) bilen garyşdyrylýar. Soňra garyşyk gaz diffuziýa peçine yzygiderli sançylýar we waferiň daşynda aýlanyp, waferiň ýüzüne goşundy goýýar. Soňra goşundy kremniý bilen reaksiýa girip, kremniýiň içine geçýän goşundy metalyny emele getirýär.

Epitaksial ösüş gaz garyndysy

Epitaksial ösüş substrat ýüzüne monokristal materialy ýerleşdirmek we ösdürmek prosesidir. Ýarymgeçiriji senagatynda üns bilen saýlanan substratda himiki bug çökündisini (CVD) ulanyp bir ýa-da birnäçe material gatlagyny ösdürmek üçin ulanylýan gazlara epitaksial gazlar diýilýär. Kremniý epitaksial gazlaryna dihidrogen dihlorsilan, kremniý tetrahloridi we silan girýär. Olar esasan epitaksial kremniý çökündisi, polikristal kremniý çökündisi, kremniý oksidi plýonka çökündisi, kremniý nitridi plýonka çökündisi we gün batareýalary we beýleki fotosensitiw enjamlar üçin amorf kremniý plýonka çökündisi üçin ulanylýar.

Ion implantasiýa gazy

Ýarymgeçiriji enjamlarynyň we integral mikrosxemalaryň önümçiliginde ion implantasiýa prosesinde ulanylýan gazlar umumylykda ion implantasiýa gazlary diýlip atlandyrylýar. Ionlaşdyrylan garyndylar (bor, fosfor we mysýak ionlary ýaly) substrata implantasiýa edilmezden öň ýokary energiýa derejesine çenli tizleşdirilýär. Ion implantasiýa tehnologiýasy bosaga naprýaženiýesini dolandyrmak üçin iň giňden ulanylýar. Ion implantasiýa edilen garyndylaryň mukdaryny ion şöhlesiniň toguny ölçemek arkaly kesgitläp bolýar. Ion implantasiýa gazlaryna adatça fosfor, mysýak we bor gazlary girýär.

Garyşyk gazy aşındyrmak

Oýmak - bu substratyň ýüzünde zerur suratlandyryş nusgasyny almak üçin fotorezist bilen örtülmedik substratdaky işlenen ýüzü (meselem, metal plýonka, kremniý oksid plýonkasy we ş.m.) oýmak prosesidir, şol bir wagtyň özünde fotorezist bilen örtülen ýeri gorap saklamakdyr.

Himiki bug çökündisi gaz garyndysy

Himiki bug çökündisi (HBÇ) bug fazaly himiki reaksiýa arkaly ýekeje maddany ýa-da birleşme çökündisi üçin uçujy birleşmeleri ulanýar. Bu bug fazaly himiki reaksiýalary ulanýan plýonka emele getirme usulydyr. Ulanylýan HBÇ gazlary emele gelýän plýonkanyň görnüşine baglylykda üýtgeýär.