Epitaksial (ösüş)Gatyşyk Gas

Ýarymgeçirijiler senagatynda, üns bilen saýlanan substratda himiki bug çökündisi arkaly bir ýa-da birnäçe gatlak material ösdürip ýetişdirmek üçin ulanylýan gaz epitaksial gaz diýlip atlandyrylýar.

Köp ulanylýan kremniý epitaksial gazlaryna diklorsilan, kremniý tetrahlorid wesilanEsasan epitaksial kremniý çökündisi, kremniý oksidi plýonka çökündisi, kremniý nitridi plýonka çökündisi, gün batareýalary we beýleki fotoreseptorlar üçin amorf kremniý plýonka çökündisi we ş.m. üçin ulanylýar. Epitaksiýa - bu substratyň ýüzünde monokristal materialyň çökündisi we ösdürilip ýetişdirilmegi prosesidir.

Himiki bug çökündisi (HBÇ) Garyşyk gaz

CVD - uçujy birleşmeleri ulanyp, gaz fazasyndaky himiki reaksiýalar arkaly belli bir elementleri we birleşmeleri çökdürmek usulydyr, ýagny gaz fazasyndaky himiki reaksiýalary ulanyp, plýonka emele getirmek usulydyr. Döredilen plýonkanyň görnüşine baglylykda, ulanylýan himiki bug çökdürme (CVD) gazy hem tapawutlanýar.

DopingGaryşyk gaz

Ýarymgeçiriji enjamlary we integral mikroshemalary öndürmekde, belli bir garyndylar ýarymgeçiriji materiallara goşulyp, materiallara zerur geçirijilik görnüşini we belli bir garşylygy berýär, bu bolsa rezistorlary, PN birikmelerini, gömülen gatlaklary we ş.m. öndürmäge mümkinçilik berýär. Doping prosesinde ulanylýan gaz doping gazy diýlip atlandyrylýar.

Esasan, arsin, fosfin, fosfor triflorid, fosfor pentaflorid, myşýak triflorid, myşýak pentaflorid,bor triflorid, diboran we ş.m.

Adatça, lehim çeşmesi çeşme şkafynda daşaýjy gaz (meselem, argon we azot) bilen garyşdyrylýar. Garyşdyrylandan soň, gaz akymy diffuziýa pejine yzygiderli sanjylýar we waferiň daşyna düşýär, waferiň ýüzüne lehimleri çökdürýär we soňra kremniý bilen reaksiýa girip, kremniýiň içine geçýän lehimlenen metallary döredýär.

OýmakGaz garyndysy

Oýmak, substratyň üstünde zerur suratlandyryş nusgasyny almak üçin, fotorezist maskasy bilen meýdany gorap, substratdaky işleniş ýüzüni (meselem, metal plýonka, kremniý oksid plýonkasy we ş.m.) fotorezist maskasy bilen örtülmezden oýmakdyr.

Oýmak usullary çygly himiki oýmak we gurak himiki oýmak usullaryny öz içine alýar. Gury himiki oýmakda ulanylýan gaza oýmak gazy diýilýär.

Aşyndyryş gazy, adatça, ftor gazy (galogenid) bolýar, meselemuglerod tetraflorid, azot triflorid, triflorometan, geksafloroetan, perfloropropan we ş.m.