Epitaksial (ösüş)Garyşyk Gas

Ondarymgeçiriji pudagynda seresaplylyk bilen saýlanan substratda himiki buglaryň çökmegi bilen bir ýa-da birnäçe gatlak materialy ösdürip ýetişdirmek üçin ulanylýan gaza epitaksial gaz diýilýär.

Köplenç ulanylýan kremniniň epitaksial gazlaryna dihlorosilan, kremniý tetrahlorid wesilan. Esasan epitaksial kremniniň çökdürilmegi, kremniniň oksid filminiň çökdürilmegi, kremniniň nitrit filminiň çökdürilmegi, gün öýjükleri we beýleki fotoreptorlar üçin amorf kremniniň film depozisi we ş.m. ulanylýar.

Himiki bug çöketligi (CVD) garylan gaz

CVD, üýtgäp durýan birleşmeleri, ýagny gaz fazasynyň himiki reaksiýalaryny ulanyp, film emele getiriş usulyny ulanyp, gaz fazaly himiki reaksiýalar arkaly käbir elementleri we birleşmeleri goýmagyň usulydyr. Döredilen filmiň görnüşine baglylykda ulanylýan himiki bug bugy (CVD) gazy hem tapawutlanýar.

DopingGaryşyk gaz

Ondarymgeçiriji enjamlar we integral zynjyrlar öndürilende, materiallara zerur geçirijilik görnüşini we rezistorlary, PN birikmelerini, gömülen gatlaklary we ş.m. öndürmek üçin belli bir garşylyk görkezmek üçin ýarymgeçiriji materiallara bölünýär, doping prosesinde ulanylýan gaza doping gazy diýilýär.

Esasan arsin, fosfin, fosfor triflorid, fosfor pentaflorid, arsen triflorid, arsen pentaflorid,bor triflorid, diborane we ş.m.

Adatça, doping çeşmesi çeşme şkafynda daşaýjy gaz (argon we azot ýaly) bilen garylýar. Garylandan soň, gaz akymy diffuziýa peçine yzygiderli sanjylýar we wafli gurşap alýar, wafli ýüzüne dopantlary goýýar, soňra kremniý bilen reaksiýa edip, kremniniň içine göçürilen metallary emele getirýär.

EtchingGaz garyndysy

Dökmek, fotorezist maskasy bilen meýdançany gorap saklamak bilen, substratyň üstünde zerur şekillendiriş nusgasyny almak üçin gaýtadan işleýän ýüzüni (metal film, kremniniň oksidi filmi we ş.m.) fotorezist maskasyz aýyrmakdyr.

Dökmek usullaryna çygly himiki siňdiriş we gury himiki arassalama degişlidir. Gury himiki efirde ulanylýan gaza efir gazy diýilýär.

Gaz çykarmak adatça ftorid gazy (halid) ýalydyruglerod tetrafluoridi, azot triflorid, triflorometan, heksafluoroetan, perfluoropropan we ş.m.