Silane (SiH4)

Tehniki parametrler

Silane kremniniň we wodorodyň birleşmesidir. Monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) we käbir ýokary derejeli kremniý-wodorod birleşmeleri ýaly birleşmeler üçin umumy termin. Olaryň arasynda monosilane iň köp ýaýran, käwagt gysga üçin silan diýilýär. Silane sarymsagyň ýigrenji ysy bolan reňksiz gaz. Suwda ereýär, etanolda, efirde, benzolda, hloroformda, kremniý hloroformda we kremniý tetrahloridinde eremez diýen ýaly. Silanlaryň himiki aýratynlyklary alkanlara garanyňda has işjeňdir we aňsat okislenýär. Howa bilen baglanyşykda öz-özünden ýanmak bolup biler. 25 ° C-den pes azot bilen reaksiýa bermeýär we otag temperaturasynda uglewodorod birleşmeleri bilen reaksiýa bermeýär. Silanyň ýanmagy we partlamagy kislorod bilen reaksiýanyň netijesidir. Silane kisloroda we howada aşa duýgur. Belli bir konsentrasiýaly silan -180 ° C temperaturada kislorod bilen partlaýjy reaksiýa döreder. Silan ýarymgeçiriji mikroelektronika proseslerinde ulanylýan iň möhüm ýörite gaz boldy we ýeke-täk kristal filmler, mikrokristal, polikristally, kremniniň oksidi, kremniý nitrid we metal silisidleri ýaly dürli mikroelektron filmleri taýýarlamakda ulanylýar. Silanyň mikroelektroniki goşundylary henizem çuňňur ösýär: pes temperaturaly epitaksiýa, saýlama epitaksiýa we heteroepitaksial epitaksiýa. Diňe kremniý enjamlary we kremniniň integral zynjyrlary üçin däl, eýsem birleşýän ýarymgeçiriji enjamlar üçin (galiý arsenid, kremniy karbid we ş.m.). Şeýle hem ýokary derejeli kwant guýy materiallaryny taýýarlamakda amaly programmalar bar. Silanyň häzirki döwürde ösen integral zynjyr önümçilik liniýalarynyň hemmesinde diýen ýaly ulanylýandygyny aýdyp bolar. Silanyň kremnini öz içine alýan film we örtük hökmünde ulanylmagy adaty mikroelektronika pudagyndan polat, tehnika, himiýa we optika ýaly dürli ugurlara ýaýrady. Silanyň başga bir ulanylyşy, ýokary öndürijilikli keramiki hereketlendiriji bölekleriniň öndürilmegi, esasanam silisid öndürmek üçin silany ulanmak (Si3N4, SiC we ş.m.) mikrodalga tehnologiýasy barha köpleriň ünsüni özüne çekdi.

Arza:

Elektroniki:

Silan ýarymgeçirijiler we möhürleýjiler öndürilende kremniý wafli polikristally kremniy gatlaklaryna ulanylýar.

OlarSolar:

Silane gün fotoelektrik modulynyň önümçiliginde ulanylýar.

Industriýa:

Energiýany tygşytlaýan Greenaşyl aýnada ulanylýar we bug çöketligi inçe film prosesinde ulanylýar.

Adaty paket:

Üstünligi:

The Bazarda on ýyldan gowrak;

②ISO şahadatnama öndürijisi;

Ast Çalt eltip bermek;

Able Çig mal çeşmesi;

Every Her ädimde hil gözegçiligi üçin bir setir derňew ulgamy;

Sil Silindri doldurmazdan ozal işlemek üçin ýokary talap we oýlanyşykly amal;

⑦ Arassalygy: ýokary arassalygy elektron derejesi;

Ulanylyşy: gün öýjükli materiallar; ýokary arassa polisilikon, kremniý oksidi we optiki süýüm öndürmek; reňkli aýna önümçiligi.