Nämeuglerod tetraflorid? Näme peýdasy bar?
Uglerod tetraflorid, tetraflorometan diýlip hem atlandyrylýar, organiki däl birleşme hasaplanýar. Ol dürli integral mikrosxemalaryň plazma aşındyrma prosesinde ulanylýar, şeýle hem lazer gazy we sowadyjy serişde hökmünde ulanylýar. Ol adaty temperatura we basyş astynda deňeşdirme boýunça durnukly, ýöne güýçli oksidleýjiler, ýanýan ýa-da ýanýan materiallar bilen aragatnaşykdan gaça durmak zerurdyr. Uglerod tetraflorid ýanmaýan gazdyr. Eger ol ýokary gyzgynlyga duçar bolsa, gapyň içki basyşynyň ýokarlanmagyna sebäp bolar we ýarylma we partlama howpy döreýär. Adatça ol diňe otag temperaturasynda suwuk ammiak-natriý metal reagent bilen özara täsirleşip biler.
Uglerod tetrafloridhäzirki wagtda mikroelektronika senagatynda ulanylýan iň uly plazma aşındyryş gazydyr. Ol kremniýiň, kremniý dioksidiniň, fosfosilikat aýnasynyň we beýleki inçe plýonka materiallarynyň aşındyrylmagynda, elektron enjamlaryň ýüzüni arassalamakda, gün batareýalaryny öndürmekde, lazer tehnologiýasynda, gaz fazaly izolýasiýada, pes temperaturaly sowadyjyda, syzmalary anyklaýjy serişdelerde we çap edilen zynjyr önümçiliginde ýuwujy serişdelerde giňden ulanylyp bilner.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 1-nji noýabry
