ElektronSpecialörite gazlarýörite gazlaryň möhüm pudakydyr. Setikulyk önümçiliginiň her bir baglanyşyga diýen ýaly, ultragyň-uly göwrümli toplumly zynjyrlar ýaly elektron önümçilik, tekiz panel displeýi enjamlary we gün öýjmeleri ýaly aýrylykly çigantdyr.

SEMCICMONDEMENTONÇIOVATÇY tehnologasynda, dinorkýan gaz giňden ulanylýar. Häzirki wagtda, Global elektron gaz bazary, jemi 30% töweregi elektron gaz hasabyndan elektron gaz hasabyndan doly gaznalary öz içine alýar. Dörediji fotografiýa elektron gazyny öz içine alýan elektron gazlary elektronlara elektroniki materiallar pudagynda ýörite elektron gazlarynyň möhüm bölegi bolup durýar. Olar esasan arassalanan agent hökmünde ulanýarlar we ekin agentleri hökmünde ulanylýar, bu makapda hozunlar, filmi çep ýaly önümçilik, finculiti gurşap alýan umumy floritigine düşüner.

Aşakdakylar köplenç ulanylýan festorly gazly gazlar

Amaturogen üçfferi (nf3): Adatça reaksiýa otaglary arassalamak we aýyrmak üçin ulanylýan goýumlary arassalamak we aýyrmak üçin ulanylýan gazyň ulanylmagy ulanylýar.

Kükürt mexaflueorid (sf6): Oksid depozitasiýalarda ulanylýan fotinasiýa prosesi we izolýasiýa serişdelerini doldurmak üçin izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izolýasiýa gazy hökmünde izyryşdyr.

Wodorod fertoride (hf): rixiron ýerinden okison ýüzünden we Etikonon we beýleki materiallar üçin okisleri aýyrmak üçin ulanylýar.

Nitrogen fertorid (NF): Silikon nitrid (günä) we alýumin nitrid (aln) ýaly etek materiallary üçin ulanylýar.

Ownuk-uşak (CHF3) wetetrafluoRomethaet (CF4): Silikon ftorid we alýumin ftory ýaly fokally materiallar üçin ulanylýar.

Şeýle-de bolsa, bir fokurdak öz energiýasy ýaly mukdarda zäherliligini, keýiklylyga we ýangyçylygy goşmak bilen käbir howplary bar.

Zäherliligi

Käbir fizinan ekin meýdanlary deriniň we jadygöýlik sypaýy we dem alyş ýollary we adam saglygyna zyýanly wodorod fertoritorid (Hf) çodurory freeltori (hf) ýaly zäherlidir.

Poslama

Wodorod festoridi

Ýangyjy

Käbir feskoridler ýangyjy ýa-da partlaýjy gazyp biljek güýçli ýylylyk we zäherli gazlary taşlap, kislorod ýa-da suw assimen ýa-da suw assosien ýa-da suw assosiens ýa-da suw assosion bilen assimen ýa-da suw bilen reaksiýa bildirýär.

Stateokary basyşly howp

Käbir fizally gazlar ýokary basyş astynda partlaýjy we ulanylanda partlamany partlady we saklanda aýratyn ideg talap edýär.

Daşky gurşawa täsir edýär

Içerki fizinan gazlar Atmeşeriýaçy orgon gatlakyna weýran ediji bilen weýran ediji bilen ýaýlym täsiri we GWP bahalary bar we global ýylylygyň we daşky gurşawyň hapalanmagyna mümkinçilik döredip biler.

Elektron takyklar senagat gazyna köp mukdarda isleýändiklerini çuňlaşdyrmagy dowam etdirmegi goldaýar, köp mukdarda täze isleg getirer. Malaklar ýaly esasy elektron önümleriň köp mukdaryna esaslanýar we ýokary himiki materiallaryň paýlanyşyny esasly tehniki durmuş ugurlaryna esaslanýar, içerki elektron gaz pudagy ýokary ösüş depgininde ýokary ösüş depgini ýokarlandyrar.