Elektronýörite gazlarýörite gazlaryň möhüm şahasydyr. Olar ýarymgeçiriji önümçiliginiň ähli halkalaryna diýen ýaly aralaşýar we örän uly göwrümli integral mikroshemalar, tekiz panelli displeý enjamlary we gün batareýalary ýaly elektron senagatlarynyň önümçiligi üçin aýrylmaz çig mal bolup durýar.

Ýarymgeçiriji tehnologiýasynda ftor saklaýan gazlar giňden ulanylýar. Häzirki wagtda global elektron gaz bazarynda ftor saklaýan elektron gazlar umumy mukdaryň takmynan 30% -ni düzýär. Ftor saklaýan elektron gazlar elektron maglumat materiallary ulgamynda ýörite elektron gazlaryň möhüm bölegi bolup durýar. Olar esasan arassalaýjy serişdeler we aşyndyryjy serişdeler hökmünde ulanylýar, şeýle hem garyndylar, plýonka emele getirýän materiallar we ş.m. hökmünde ulanylyp bilner. Bu makalada awtor sizi umumy ftor saklaýan gazlary düşündirer.

Ftor saklaýan gazlar aşakdakylardyr:

Azot triflorid (NF3): Çökündileri arassalamak we aýyrmak üçin ulanylýan gaz, adatça reaksiýa kameralaryny we enjamlaryň ýüzlerini arassalamak üçin ulanylýar.

Kükürt geksaftoridi (SF6)Oksid çökündi proseslerinde we izolýasiýa ediji serişdeleri doldurmak üçin izolýasiýa ediji gaz hökmünde ulanylýan ftorlaşdyryjy serişde.

Wodorod ftorid (HF): Kremniýiň ýüzünden oksidleri aýyrmak we kremniý we beýleki materiallary aşyndyrmak üçin aşyndyryjy hökmünde ulanylýar.

Azot ftorid (NF): Kremniý nitridi (SiN) we alýumin nitridi (AlN) ýaly materiallary aşyndyrmak üçin ulanylýar.

Trifluormetan (CHF3) wetetraflorometan (CF4): Kremniý ftorid we alýumin ftorid ýaly ftorid materiallaryny aşyndyrmak üçin ulanylýar.

Şeýle-de bolsa, ftor saklaýan gazlaryň zäherlilik, poslama we ýanma howplary ýaly belli bir howplary bar.

Zäherlilik

Ftor saklaýan käbir gazlar, meselem, wodorod ftorid (HF) zäherlidir, onuň bugy deri we dem alyş ýollary üçin örän gyjyndyryjy we adam saglygy üçin zyýanlydyr.

Korroziwlik

Wodorod ftorid we käbir ftoridler örän zaýalaýjy bolup, deri, göz we dem alyş ýollaryna agyr zyýan ýetirip biler.

Ýanyjylyk

Käbir ftoridler ýangynly bolup, howadaky kislorod ýa-da suw bilen reaksiýa girip, güýçli ýylylyk we zäherli gazlary bölüp çykarýar, bu bolsa ýangyna ýa-da partlamaga sebäp bolup biler.

Ýokary basyş howpy

Käbir ftorlanan gazlar ýokary basyş astynda partlaýjy bolup, ulanylanda we saklananda aýratyn üns bermegi talap edýär.

Daşky gurşawa täsiri

Ftor saklaýan gazlaryň atmosfera ömri we umumy umumy önüm möçberi ýokary bolup, olar atmosferanyň ozon gatlagyna zyýanly täsir edýär we global ýylylyga we daşky gurşawyň hapalanmagyna sebäp bolup biler.

Gazlaryň elektronika ýaly täze ösýän pudaklarda ulanylmagy çuňlaşmagyny dowam etdirýär we senagat gazlaryna uly möçberde täze islegi döredýär. Hytaýyň esasy böleginde ýakyn birnäçe ýylda ýarymgeçirijiler we displeý panelleri ýaly esasy elektron bölekleriniň täze önümçilik kuwwatlyklarynyň uly möçberine, şeýle hem elektron himiki materiallaryň import ornuny tutmaga bolan güýçli islege esaslanyp, ýerli elektron gaz senagaty ýokary ösüş depginini döreder.