Elektronýörite gazlarýörite gazlaryň möhüm şahasydyr. Ondarymgeçiriji önümçiliginiň ähli baglanyşyklaryna diýen ýaly aralaşýar we ultra-uly göwrümli integral zynjyrlar, tekiz panelli displeý enjamlary we gün öýjükleri ýaly elektron pudaklaryny öndürmek üçin aýrylmaz çig mal bolup durýar.

Ondarymgeçiriji tehnologiýasynda ftorly gazlar giňden ulanylýar. Häzirki wagtda dünýä elektron gaz bazarynda ftorly elektron gazlar umumy mukdaryň 30% -ini tutýar. Ftorly elektron gazlar, elektron maglumat materiallary pudagynda ýörite elektron gazlaryň möhüm düzüm bölegi bolup durýar. Olar, esasan, arassalaýjy serişdeler we arassalaýjy serişdeler hökmünde ulanylýar, şeýle hem dopantlar, film dörediji materiallar we ş.m. ulanylyp bilner. Bu makalada awtor umumy ftorly gazlara düşünmäge alyp barar.

Aşakda köplenç ftorly gazlar ulanylýar

Azot triflorid (NF3): Depozitleri arassalamak we aýyrmak üçin ulanylýan gaz, adatça reaksiýa kameralaryny we enjam ýüzlerini arassalamak üçin ulanylýar.

Kükürt heksafluorid (SF6): Oksidi çökdürmek prosesinde we izolýasiýa serişdesini doldurmak üçin izolýasiýa gazy hökmünde ulanylýan ftorlaýjy serişde.

Wodorod ftorid (HF): Silikonyň ýüzündäki oksidleri aýyrmak üçin we kremnini we beýleki materiallary çykarmak üçin ulanylýar.

Azot floridi (NF): Silikon nitrit (SiN) we alýumin nitrit (AlN) ýaly materiallary çykarmak üçin ulanylýar.

Trifluorometan (CHF3) wetetrafluorometan (CF4): Silikon florid we alýumin florid ýaly florid materiallaryny çykarmak üçin ulanylýar.

Şeýle-de bolsa, ftorly gazlaryň zäherliligi, poslama we ýangyjy ýaly käbir howplary bar.

Zäherlilik

Käbir ftor saklaýan gazlar, bugy derini we dem alyş ýollaryny gaty gaharlandyrýan we adam saglygyna zyýanly wodorod ftorid (HF) ýaly zäherlidir.

Poslama

Wodorod ftorid we käbir floridler gaty poslaýjy bolup, derä, gözlere we dem alyş ýollaryna çynlakaý zeper ýetirip biler.

Lamangyn

Käbir floridler ýangyjy bolup, howadaky kislorod ýa-da suw bilen reaksiýa berip, ot ýa-da partlama sebäp bolup biljek güýçli ýylylygy we zäherli gazlary çykarýar.

Pressureokary basyşly howp

Käbir ftorly gazlar ýokary basyşda partlaýjy bolup, ulanylanda we saklananda aýratyn ideg talap edilýär.

Daşky gurşawa täsiri

Ftorly gazlar, atmosferadaky ozon gatlagyna weýran ediji we global ýylylygyň we daşky gurşawyň hapalanmagyna sebäp bolup biljek ýokary atmosfera ömri we GWP gymmatlyklaryna eýedir.

Elektronika ýaly döreýän ugurlarda gazlaryň ulanylyşy çuňlaşmagyny dowam etdirýär we senagat gazlaryna köp mukdarda täze isleg getirýär. Öňümizdäki birnäçe ýylda Hytaýyň materiginde ýarymgeçirijiler we displeý panelleri ýaly esasy elektron bölekleriniň täze önümçilik kuwwatyna, şeýle hem elektron himiki materiallaryň importyň ornuny tutmaga bolan uly islege esaslanyp, içerki elektron gaz senagaty öser ýokary ösüş depgini.