Volfram geksafluoridiň ulanylyşy (WF6)

Volfram heksafluorid (WF6), CVD prosesi arkaly wafliň ýüzüne goýulýar, metal birleşdiriji çukurlary doldurýar we gatlaklaryň arasynda metal özara baglanyşygy emele getirýär.

Ilki bilen plazma hakda gürleşeliň. Plazma, esasan erkin elektronlardan we zarýadly ionlardan ybarat materiýanyň bir görnüşidir. Universelemde giňden bar we köplenç materiýanyň dördünji ýagdaýy hasaplanýar. Plazma ýagdaýy, oňa "Plazma" diýilýär. Plazma ýokary elektrik geçirijiligine we elektromagnit meýdany bilen güýçli birikdirme täsirine eýe. Elektronlardan, ionlardan, erkin radikallardan, bitarap bölejiklerden we fotonlardan ybarat bölekleýin ionlaşdyrylan gaz. Plazmanyň özi fiziki we himiki taýdan işjeň bölejikleri öz içine alýan elektrik taýdan bitarap garyndydyr.

Göni düşündiriş, ýokary energiýanyň täsiri astynda molekula van der Waals güýjüni, himiki baglanyşyk güýjüni we Coulomb güýjüni ýeňip geçer we umuman bitarap elektrik görnüşini görkezer. Şol bir wagtyň özünde, daşardan berilýän ýokary energiýa ýokardaky üç güýji ýeňýär. Funksiýa, elektronlar we ionlar ýarymgeçirijiniň emele gelmegi, CVD prosesi, PVD we IMP prosesi ýaly magnit meýdanynyň modulýasiýasynda emeli usulda ulanylyp bilinýän erkin ýagdaýy görkezýärler.

Energyokary energiýa näme? Teoriýa boýunça ýokary temperatura we ýokary ýygylykly RF ulanylyp bilner. Umuman aýdanyňda, ýokary temperatura ýetmek mümkin däl diýen ýaly. Bu temperatura zerurlygy gaty ýokary we günüň temperaturasyna ýakyn bolup biler. Bu işde ýetmek mümkin däl. Şonuň üçin bu pudak adatça oňa ýetmek üçin ýokary ýygylykly RF ulanýar. Plazma RF 13MHz + çenli ýetip biler.

Volfram geksafluorid elektrik meýdanynyň täsiri astynda plazmalaşdyrylýar, soňra bolsa magnit meýdany bilen bug goýulýar. W atomlary gyş goz ýeleklerine meňzeýär we agyrlyk güýji bilen ýere gaçýar. Atomuwaş-ýuwaşdan W atomlary deşikleriň içine goýulýar we ahyrsoňy demir baglanyşyklaryny emele getirmek üçin deşiklerden doly doldurylýar. W atomlaryny deşiklere salmakdan başga-da, Waferiň üstünde hem goýularmy? Hawa, elbetde. Umuman aýdanyňda, W-CMP amalyny ulanyp bilersiňiz, bu aýyrmak üçin mehaniki üweýiş prosesi diýýäris. Güýçli gardan soň poly süpürmek üçin süpürgi ulanmaga meňzeýär. Onerdäki gar süpürilýär, ýöne ýerdäki deşikdäki gar galar. Aşakda, takmynan birmeňzeş.