Volfram geksaftoridi (WF6) CVD usuly arkaly plastinkanyň ýüzüne çökýär, metal birikdiriş hendeklerini doldurýar we gatlaklaryň arasyndaky metal birikdirişini emele getirýär.
Ilki bilen plazma barada gürleşeliň. Plazma, esasan erkin elektronlardan we zarýadly ionlardan ybarat bolan maddanyň bir görnüşidir. Ol älemde giňden ýaýrandyr we köplenç maddanyň dördünji ýagdaýy hökmünde kabul edilýär. Oňa plazma ýagdaýy, şeýle hem "Plazma" diýilýär. Plazma ýokary elektrik geçirijiligine eýedir we elektromagnit meýdan bilen güýçli baglanyşyk täsirine eýedir. Ol elektronlardan, ionlardan, erkin radikallardan, neýtral bölejiklerden we fotonlardan ybarat bolan bölekleýin ionlaşdyrylan gazdyr. Plazmanyň özi fiziki we himiki taýdan işjeň bölejikleri öz içine alýan elektrik taýdan neýtral garyndydyr.
Giňişleýin düşündiriş, ýokary energiýanyň täsiri astynda molekula wan der Waals güýjüni, himiki baglanyşyk güýjüni we Kulon güýjüni ýeňip, umumylykda neýtral elektrik görnüşini döreder. Şol bir wagtyň özünde, daşarky tarapyndan berilýän ýokary energiýa ýokardaky üç güýji ýeňýär. Funksiýa, elektronlar we ionlar erkin ýagdaý döredýärler, bu bolsa ýarymgeçirijili aşındyrma prosesi, CVD prosesi, PVD we IMP prosesi ýaly magnit meýdanynyň modulýasiýasy astynda emeli ulanylyp bilner.
Ýokary energiýa näme? Teoriýa boýunça ýokary temperatura we ýokary ýygylykly RF ulanylyp bilner. Umuman aýdanyňda, ýokary temperatura ýetmek mümkin däl diýen ýaly. Bu temperatura talaby gaty ýokary we Günüň temperaturasyna golaý bolup biler. Bu prosesde muňa ýetmek mümkin däl. Şonuň üçin senagat adatça ony gazanmak üçin ýokary ýygylykly RF ulanýar. Plazma RF 13MHz+ çenli ýetip biler.
Wolfram geksaftoridi elektrik meýdanynyň täsiri bilen plazmalaşdyrylýar we soňra magnit meýdany bilen bug görnüşinde çökýär. W atomlary gyşky gaz tüýlerine meňzeýär we agyrlyk güýjüniň täsiri bilen ýere düşýär. W atomlary ýuwaş-ýuwaşdan deşiklere çökýär we ahyrsoňy metal baglanyşyklaryny emele getirmek üçin doly deşikler bilen doldurylýar. Deşiklere W atomlaryny çökdürmekden başga-da, olar Waferiň ýüzüne hem çökermi? Hawa, elbetde. Umuman aýdanyňda, siz W-CMP prosesini ulanyp bilersiňiz, bu biziň ony aýyrmak üçin mehaniki üwemek prosesi diýip atlandyrýan zadymyzdyr. Bu, güýçli gardan soň pollary süpürmek üçin süpürgi ulanmaga meňzeýär. Ýerdäki gar süpürilýär, ýöne ýerdäki deşikdäki gar galar. Aşakda, takmynan şol bir zat.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 24-nji dekabry
