Silikon nitridiň emele gelmeginde kükürt heksafloridiň roly

Kükürt heksafluorid ajaýyp izolýasiýa häsiýetine eýe bolan gaz bolup, köplenç ýokary woltly arkany söndürmekde we transformatorlarda, ýokary woltly geçiriji liniýalarda, transformatorlarda we ş.m. ulanylýar. Şeýle-de bolsa, bu funksiýalardan başga-da, kükürt heksaflorid elektron etant hökmünde hem ulanylyp bilner. Elektron derejeli ýokary arassa kükürt heksafluorid mikroelektronika tehnologiýasy pudagynda giňden ulanylýan ideal elektron etantdyr. Şu gün “Niu Ruide” ýörite gaz redaktory ueueýue kremniý geksafloridiň kremniý nitridiň emele gelmeginde ulanylyşy we dürli parametrleriň täsiri bilen tanyşdyrar.

SF6 plazma çykaryjy SiNx prosesi, şol sanda plazma güýjüni üýtgetmek, SF6 / He-iň gaz gatnaşygy we kationiki gaz O2 goşmak, TFT-iň SiNx elementini goramak gatlagynyň täsir ediş tizligini ara alyp maslahatlaşmak we plazma radiasiýasyny ulanmak Spektrometr SF6 / He, SF6 / He / O2 plazma we SF6 bölüniş derejesiniň üýtgemegi we SF6 bölüniş derejesi we SF6 bölüniş derejesi we SF6 bölüniş derejesi.

Geçirilen gözlegler, plazma güýji ýokarlananda, çişmegiň tizliginiň ýokarlanýandygyny görkezdi; plazmadaky SF6 akymynyň tizligi ýokarlansa, F atomynyň konsentrasiýasy ýokarlanýar we emele geliş tizligi bilen oňyn baglanyşykda bolýar. Mundan başga-da, kesgitlenen umumy akym tizliginde kationiki gaz O2 goşulandan soň, ol akym tizligini ýokarlandyrmaga täsir eder, ýöne dürli O2 / SF6 akym derejelerinde üç bölege bölüp boljak dürli reaksiýa mehanizmleri bolar: (1) O2 / SF6 akym gatnaşygy gaty az, O2 SF6-iň bölünmegine kömek edip biler we bu wagt O2 goşulanda tizligi ýokarlanmaz. ) emma şol bir wagtyň özünde, plazmadaky O atomlary hem köpelýär we SiNx filminiň üstü bilen SiOx ýa-da SiNxO (yx) emele getirmek aňsat, O atomlary näçe köpelse, F atomlary hem reaksiýa üçin kyn bolar. Şol sebäpden, O2 / SF6 gatnaşygy 1-e ýakynlaşanda peselme tizligi peselip başlaýar. (3) O2 / SF6 gatnaşygy 1-den uly bolanda, peselme derejesi peselýär. O2-iň uly köpelmegi sebäpli bölünen F atomlary O2 we OF görnüşi bilen çaknyşýar, bu bolsa F atomlarynyň konsentrasiýasyny peseldýär we netijede peselme derejesiniň peselmegine sebäp bolýar. O2-den goşulanda, O2 / SF6-nyň akym gatnaşygy 0,2 bilen 0.8 aralygynda bolup, iň oňat çykma derejesini alyp boljakdygyny görmek bolýar.