Şygyr Hexafluerie Ajaýyp izolýasiýa häsiýetleri, ýokary woltiýaçylyk nusgalary, tersine, tersine süzmekde, transfur Hexafuludda elektron-da Hextafulýar bolup biler. Elektron orta aýlyklaryň ýokary arassalygy sulfurudaşy mikelektroniýa tehnologiýasy pudagynda giňden ulanylýan ýersiz elektron we bir amatly elektron görnüşdir. Häzirki wagtda niu ruhy ýörite gaz ediji hökmünde Sulfruton nikriýon neýrid taýakynda Sulfur Hexsiýalarda we dürli parametrleriň täsirini hödürledi.
SF6 plazma ýerleşdirilen Sinkoma ygtyýarlygyny kesgitlemek, SF6 / -diýdi SF6 / HYZMATDAS-DECRE-de üýtgeşmeler üýtgemelerini ara alyp maslahatlaşmagy, saf6 / o fpaniýa we SF6-nyň konsentrasiýasyny sanatýarlaşdyrýar Aýratynlyk nyrhy we Sinks ething nyrhynyň üýtgemegi we Plsmanyň ünsüni ýokary konsentrasiýa arasyndaky gatnaşyklary öwrenýär.
PLASM güýçleriniň ýokarlanandygyny, ýolagçy tizligi ýokarlandyranda tapdy; SFSM-iň plazma-de sf6 akymynyň akymy artsa, f atom konsentrasiýasy ýokarlanýar we bu ýürek babatynda oňyn tekizlenýär. Mundan başga-da, jemi akymyň derejesinde oturymly bolsa sügit gaz O2-si dürli o / sF6 akym gatnaşyklarynyň ýokarlanmagy gaty kiçi, o2 SF6-da aýrylmagyna we bu döwürde O2 goşulmaýandan has köpleşmegine kömek edip biler. (2) O2 / SF6 akym gatnaşygy 1,2-den uly bolanda, iň uzak wagtlap f atomlardan peýdalanmak üçin köp bölegi bolsa, ýolagçy derejesi iň ýokary; Şol bir wagtyň özünde, o Papsomadaky atomlara şeýle ösüş, köp six ýa-da sinxo (yx), f atomlaryň ösüşi has kyn bolar, f atomlary bolmak has kyn bolar. Şonuň üçin, o2 / SF6 gatnaşygy 1-e ýakyn bolansoň, ýolag tizligi haýalrak haýallap başlaýar. (3) O2 / sf6 gatnaşygy 1-den uly bolansoň, haýalrak haýal başlaýar. (3) O2 / sf6 gatnaşygy 1-den uly bolanda haýalladyp başlaýar. (3) O2 / sf6 gatnaşygy 1-den uly bolsa, ETCING nyrhy azalýar. 2012-nji ýylda uly ösüş sebäpli f atomlaryň konsentrasiýasyny az alan O2 we görnüşindäki bitewi buthanalar, ýolagçynyň nesilleriniň azalmagyna ýetendir. O2 goşulsa, O2-den goşulanda, O2 / SF6-nyň akym gatnaşygy 0,2 we 0.8 aralygynda we iň gowy är-aýalyň arasynda bolýar.
Post wagtyňyz: 06-2021
