Kükürt geksaftoridi ajaýyp izolýasiýa häsiýetlerine eýe bolan gaz bolup, köplenç ýokary woltly ýaý söndüriji we transformatorlarda, ýokary woltly elektrik geçirijilerinde, transformatorlarda we ş.m. ulanylýar. Şeýle-de bolsa, bu funksiýalardan başga-da, kükürt geksaftoridi elektron aşgarlaýjy hökmünde hem ulanylyp bilner. Elektron derejeli ýokary arassa kükürt geksaftoridi mikroelektronika tehnologiýasy ulgamynda giňden ulanylýan ideal elektron aşgarlaýjydyr. Şu gün "Niu Ruide" ýörite gaz redaktory "Yueyue" kremniý nitridi aşgarlaýjyda kükürt geksaftoriniň ulanylyşyny we dürli parametrleriň täsirini tanyşdyrar.
Biz SF6 plazmasynda aşındyryş SiNx prosesini, şol sanda plazma güýjüni, SF6/He gaz gatnaşygyny üýtgetmek we kation gazy O2 goşmak, onuň TFT-niň SiNx element gorag gatlagynyň aşındyryş tizligine täsirini ara alyp maslahatlaşýarys we plazma şöhlelenmesini ulanýarys. Spektrometr SF6/He, SF6/He/O2 plazmasyndaky her bir görnüşiň konsentrasiýa üýtgeşmelerini we SF6 dissosiasiýa tizligini seljerýär we SiNx aşındyryş tizliginiň üýtgemegi bilen plazma görnüşleriniň konsentrasiýasynyň arasyndaky gatnaşygy öwrenýär.
Barlaglar plazma güýji ýokarlananda aşynma tizliginiň ýokarlanýandygyny; plazmadaky SF6-nyň akym tizligi ýokarlansa, F atomynyň konsentrasiýasy ýokarlanýandygyny we aşynma tizligi bilen oňyn baglanyşyklydygyny ýüze çykardy. Mundan başga-da, umumy akym tizliginiň aşagynda kation gazy O2 goşulandan soň, aşynma tizliginiň ýokarlanmagyna täsir eder, ýöne dürli O2/SF6 akym gatnaşyklarynda dürli reaksiýa mehanizmleri bolar, olary üç bölege bölmek bolar: (1) O2/SF6 akym gatnaşygy örän kiçi, O2 SF6-nyň dissosasiýasyna kömek edip biler we bu wagt aşynma tizligi O2 goşulmadyk wagtdakydan ýokarydyr. (2) O2/SF6 akym gatnaşygy 1-e golaýlan aralyga 0,2-den uly bolanda, bu wagt, SF6-nyň F atomlaryny emele getirmek üçin köp mukdarda dissosasiýa edilmegi sebäpli, aşynma tizligi iň ýokarydyr; ýöne şol bir wagtyň özünde plazmadaky O atomlary hem artýar we SiNx plýonkasynyň ýüzü bilen SiOx ýa-da SiNxO(yx) emele getirmek aňsat we O atomlary näçe köp artsa, F atomlary aşynma reaksiýasy üçin şonça-da kyn bolar. Şonuň üçin, O2/SF6 gatnaşygy 1-e golaý bolanda aşynma tizligi haýallamaga başlaýar. (3) O2/SF6 gatnaşygy 1-den uly bolanda, aşynma tizligi peselýär. O2-niň uly artmagy sebäpli, bölünen F atomlary O2 bilen çaknyşýar we OF emele getirýär, bu bolsa F atomlarynyň konsentrasiýasyny peseldýär we aşynma tizliginiň peselmegine getirýär. Mundan görünýär, O2 goşulanda, O2/SF6-nyň akym gatnaşygy 0,2 bilen 0,8 aralygynda bolýar we iň gowy aşynma tizligini alyp bolýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 6-njy dekabry
