Silikon nitridiň emele gelmeginde kükürt heksafloridiň roly

Kükürt heksafluorid ajaýyp izolýasiýa häsiýetine eýe bolan gazdyr we köplenç ýokary woltly arkany söndürmekde we transformatorlarda, ýokary woltly geçiriji liniýalarda, transformatorlarda we ş.m. ulanylýar, ýöne bu funksiýalara goşmaça kükürt heksafluorid elektron etant hökmünde hem ulanylyp bilner. . Elektron derejeli ýokary arassa kükürt heksafluorid mikroelektronika tehnologiýasy pudagynda giňden ulanylýan ideal elektron etantdyr. Şu gün “Niu Ruide” ýörite gaz redaktory ueueýue kremniý geksafloridiň kremniý nitridiň emele gelmeginde ulanylyşy we dürli parametrleriň täsiri bilen tanyşdyrar.

SF6 plazma çykaryjy SiNx prosesi, şol sanda plazma güýjüni üýtgetmek, SF6 / He-iň gaz gatnaşygy we kationiki gaz O2 goşmak, TFT-iň SiNx elementini goramak gatlagynyň peselmegine we plazma radiasiýasyny ulanmak hakda pikir alyşýarys. spektrometr SF6 / He, SF6 / He / O2 plazmadaky her görnüşiň konsentrasiýa üýtgemelerini we SF6 bölüniş tizligini seljerýär we SiNx emele geliş derejesiniň üýtgemegi bilen plazma görnüşleriniň konsentrasiýasynyň arasyndaky baglanyşygy öwrenýär.

Geçirilen gözlegler, plazma güýji ýokarlananda, çişmegiň tizliginiň ýokarlanýandygyny görkezdi; plazmadaky SF6-nyň akym tizligi ýokarlanan bolsa, F atomynyň konsentrasiýasy ýokarlanýar we çişme tizligi bilen oňyn baglanyşykda bolýar. Mundan başga-da, kesgitlenen umumy akym tizligi boýunça kationiki gaz O2 goşulandan soň, ol çişmegiň tizligini ýokarlandyrar, ýöne dürli O2 / SF6 akym derejelerinde üç bölege bölünip bilýän dürli reaksiýa mehanizmleri bolar. :. ) emma şol bir wagtyň özünde plazmadaky O atomlary hem köpelýär we SiNx filminiň üstü bilen SiOx ýa-da SiNxO (yx) emele getirmek aňsat, O atomlary näçe köpelse, F atomlary hem şonça kyn bolar gyjyndyrma reaksiýasy. Şol sebäpden, O2 / SF6 gatnaşygy 1-e ýakynlaşanda peselme tizligi peselip başlaýar. (3) O2 / SF6 gatnaşygy 1-den uly bolanda, peselme derejesi peselýär. O2-iň uly köpelmegi sebäpli bölünen F atomlary O2 we OF görnüşi bilen çaknyşýar, bu bolsa F atomlarynyň konsentrasiýasyny peseldýär we netijede peselme derejesiniň peselmegine sebäp bolýar. O2-den goşulanda, O2 / SF6-nyň akym gatnaşygy 0,2 bilen 0.8 aralygynda bolup, iň oňat çykma derejesini alyp boljakdygyny görmek bolýar.