Adaty ftor saklaýan ýörite elektron gazlary öz içine alýarkükürt heksafluorid (SF6)wolfram heksafluorid (WF6),uglerod tetrafluoridi (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), geksafluoroetan (C2F6) we oktafluoropropan (C3F8).
Nanotehnologiýanyň ösmegi we elektronika pudagynyň giň gerimli ösmegi bilen onuň islegi günsaýyn artar. Azot triflorid, panelleri we ýarymgeçirijileri öndürmekde we gaýtadan işlemekde aýrylmaz we iň köp ulanylýan ýörite elektron gazy hökmünde giň bazara eýe.
Ftor saklaýan ýörite gazyň bir görnüşi hökmünde,azot triflorid (NF3)iň uly bazar kuwwaty bolan elektron ýörite gaz önümidir. Otag temperaturasynda himiki taýdan inert, ýokary temperaturada kisloroddan has işjeň, ftordan has durnukly we işlemek aňsat. Azot triflorid esasan plazma çykaryjy gaz we reaksiýa kamerasyny arassalaýjy serişde hökmünde ulanylýar we ýarymgeçiriji çipleri, tekiz paneli displeýleri, optiki süýümleri, fotoelektrik öýjüklerini we ş.m. öndürmek üçin amatlydyr.
Ftorly beýleki elektron gazlar bilen deňeşdirilende,azot trifloridçalt reaksiýanyň we ýokary netijeliligiň artykmaçlyklaryna eýe. Esasanam kremniý nitrit ýaly kremnini öz içine alýan materiallaryň gazylmagynda ýokary çişme derejesi we seçimliligi bar, çyzylan obýektiň üstünde hiç hili galyndy galmaýar. Şeýle hem gaty gowy arassalaýjy serişdedir we gaýtadan işlemek prosesiniň zerurlyklaryny kanagatlandyryp biljek ýer ýüzüne hapalanma ýok.
Iş wagty: 14-2024-nji sentýabr
