Ftor saklaýan ýörite elektron gazlaryň arasynda giňden ýaýranlary barkükürt geksafloridi (SF6)wolfram heksafluorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), geksafloroetan (C2F6) we oktaftloropropan (C3F8).
Nanotehnologiýanyň ösmegi we elektronika senagatynyň giň gerimli ösüşi bilen oňa bolan isleg gün-günden artar. Panelleriň we ýarymgeçirijileriň önümçiliginde we gaýtadan işlemeginde aýrylmaz we iň köp ulanylýan ýörite elektron gaz hökmünde azot triflorid giň bazar giňişligine eýedir.
Ftor saklaýan ýörite gazyň bir görnüşi hökmünde,azot triflorid (NF3)iň uly bazar kuwwatyna eýe bolan elektron ýörite gaz önümidir. Ol otagyň temperaturasynda himiki taýdan inert, ýokary temperaturada kisloroddan has işjeň, ftordan has durnukly we ulanmak aňsat. Azot triflorid esasan plazma aşyndyryjy gaz we reaksiýa kamerasyny arassalaýjy serişde hökmünde ulanylýar we ýarymgeçiriji çipleriň, tekiz panel displeýleriň, optiki süýümleriň, fotowoltaik öýjükleriň we ş.m. önümçilik ugurlary üçin amatlydyr.
Ftor saklaýan beýleki elektron gazlar bilen deňeşdirilende,azot trifloridçalt reaksiýa we ýokary netijelilik ýaly artykmaçlyklara eýedir. Esasan hem kremniý nitridi ýaly kremniý saklaýan materiallaryň aşyndyrylmagynda, ol ýokary aşyndyrma tizligine we saýlama ukybyna eýedir, aşyndyrylan obýektiň ýüzünde hiç hili galyndy galdyrmaýar. Şeýle hem, ol örän gowy arassalaýjy serişde bolup, ýüzüne hiç hili hapaçylyk getirmeýär, bu bolsa gaýtadan işlemek prosesiniň zerurlyklaryny kanagatlandyryp biler.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 14-nji sentýabry
