Elektron ýörite gazyň iň köp mukdary - Azot Trifluorid NF3

Oururdumyzyň ýarymgeçiriji senagaty we panel senagaty ýokary derejede gülläp ösýär. Azot triflorid, panelleri we ýarymgeçirijileri öndürmekde we gaýtadan işlemekde aýrylmaz we iň uly göwrümli ýörite elektron gaz hökmünde giň bazara eýe.

Köplenç ulanylýan ftorly ýörite elektron gazlary öz içine alýarkükürt heksafluorid (SF6)wolfram heksafluorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), geksafluoroetan (C2F6) we oktafluoropropan (C3F8). Azot triflorid (NF3) esasan wodorod ftorid-florid gazy ýokary energiýa himiki lazerleri üçin ftor çeşmesi hökmünde ulanylýar. H2-O2 bilen F2 arasyndaky reaksiýa energiýasynyň täsirli bölegi (takmynan 25%) lazer radiasiýasy arkaly goýberilip bilner, şonuň üçin HF-OF lazerleri himiki lazerleriň arasynda iň geljegi uly lazerlerdir.

Azot triflorid mikroelektronika pudagynda ajaýyp plazma çykaryjy gazdyr. Silikon we kremniý nitridi çykarmak üçin azot triflorid, uglerod tetrafloridinden we uglerod tetrafloridiniň we kislorodyň garyndysyndan has ýokary täsir ediş derejesine we saýlama derejesine eýe bolup, ýer ýüzünde hapalanma ýok. Esasanam galyňlygy 1,5um-dan az bolan integral zynjyr materiallarynyň gazylmagynda azot trifloridiň gaty ajaýyp derejesi we saýlanylyşy bar, çyzylan obýektiň üstünde galyndy galdyrmaýar we şeýle hem gaty arassalaýjy serişdedir. Nanotehnologiýanyň ösmegi we elektronika pudagynyň giň gerimli ösmegi bilen onuň islegi günsaýyn artar.

Ftor saklaýan ýörite gazyň bir görnüşi hökmünde azot triflorid (NF3) bazardaky iň uly elektron ýörite gaz önümidir. Otag temperaturasynda himiki taýdan inert, kisloroddan has işjeň, ftordan has durnukly we ýokary temperaturada işlemek aňsat.

Azot triflorid, esasan, ýarymgeçiriji çipler, tekiz panelli displeýler, optiki süýümler, fotoelektrik öýjükleri we ş.m. ýaly önümçilik meýdanlary üçin amatly plazma çykaryjy gaz we reaksiýa kamerasyny arassalaýjy serişde hökmünde ulanylýar.

Ftor saklaýan beýleki elektron gazlar bilen deňeşdirilende, azot triflorid çalt reaksiýanyň we ýokary netijeliligiň artykmaçlyklaryna eýedir, esasanam kremniý nitrit ýaly kremnini öz içine alýan materiallaryň emele gelmeginde, ýokary derejeli we seçimliligine eýe, örtülen obýektiň üstünde hiç hili galyndy galdyrmaýar, şeýle hem gaty arassalaýjy serişde bolup, üstüni hapalaýar.