Ýurdumyzyň ýarymgeçirijiler senagaty we panel senagaty ýokary derejede gülläp ösýär. Panelleriň we ýarymgeçirijileriň önümçiliginde we gaýtadan işlemeginde aýrylmaz we iň uly möçberdäki ýörite elektron gaz hökmünde azot triflorid giň bazar giňişligine eýedir.
Köp ulanylýan ftor saklaýan ýörite elektron gazlar şulary öz içine alýarkükürt geksafloridi (SF6)wolfram heksafluorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), trifluormetan (CHF3), azot trifluoridi (NF3), geksafluoretan (C2F6) we oktaftluorpropan (C3F8). Azot trifluoridi (NF3) esasan wodorod ftorid-ftorid gazy ýokary energiýaly himiki lazerler üçin ftorid çeşmesi hökmünde ulanylýar. H2-O2 we F2 arasyndaky reaksiýa energiýasynyň täsirli bölegi (takmynan 25%) lazer şöhlelenmesi bilen bölünip çykarylyp bilner, şonuň üçin HF-OF lazerleri himiki lazerleriň arasynda iň geljegi uly lazerlerdir.
Azot triflorid mikroelektronika senagatynda ajaýyp plazma aşyndyryş gazydyr. Kremniý we kremniý nitridi aşyndyryş üçin azot triflorid uglerod tetrafloridine we uglerod tetraflorid bilen kislorodyň garyndysyna garanyňda ýokary aşyndyryş tizligine we selektiwligine eýedir we ýüzüne hiç hili hapaçylyk döretmeýär. Esasanam, galyňlygy 1,5 um-dan az bolan integral mikrosxema materiallarynyň aşyndyryşynda azot triflorid örän ajaýyp aşyndyryş tizligine we selektiwligine eýedir, aşyndyrylan obýektiň ýüzünde hiç hili galyndy galdyrmaýar we şeýle hem örän gowy arassalaýjy serişdedir. Nanotehnologiýanyň ösmegi we elektronika senagatynyň giň möçberli ösüşi bilen oňa bolan isleg gün-günden artar.
Ftor saklaýan ýörite gazyň bir görnüşi hökmünde azot triflorid (NF3) bazardaky iň uly elektron ýörite gaz önümidir. Ol otagyň temperaturasynda himiki taýdan inert, kisloroddan has işjeň, ftordan has durnukly we ýokary temperaturada ulanmak aňsat.
Azot triflorid esasan plazma aşındyryjy gaz we reaksiýa kamerasyny arassalaýjy serişde hökmünde ulanylýar, ýarymgeçiriji çipler, tekiz panel displeýler, optiki süýümler, fotowoltaik öýjükler we ş.m. ýaly önümçilik ugurlary üçin amatlydyr.
Beýleki ftor saklaýan elektron gazlar bilen deňeşdirilende, azot trifloridiniň çalt reaksiýa we ýokary netijelilik ýaly artykmaçlyklary bar, esasanam kremniý nitridi ýaly kremniý saklaýan materiallary aşyndyrmakda, ol ýokary aşyndyrmak tizligine we saýlama ukybyna eýedir, aşyndyrylan obýektiň ýüzünde hiç hili galyndy galdyrmaýar, şeýle hem örän gowy arassalaýjy serişde bolup, ýüze hapalanmaýar we gaýtadan işlemek prosesiniň zerurlyklaryny kanagatlandyryp bilýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 26-njy dekabry
