2018-nji ýylda integral mikrosxemalar üçin global elektron gaz bazary 4,512 milliard ABŞ dollaryna ýetdi, bu geçen ýyl bilen deňeşdirilende 16% ösüşdir. Ýarymgeçirijiler üçin elektron ýörite gaz senagatynyň ýokary ösüş depgini we bazaryň ägirt uly möçberi elektron ýörite gazyň içerki ornuny tutma meýilnamasyny çaltlaşdyrdy!
Elektron gazy näme?
Elektron gaz ýarymgeçirijileriň, tekiz panelli displeýleriň, ýagtylyk çykarýan diodlaryň, gün batareýalarynyň we beýleki elektron önümleriň öndürilişinde ulanylýan esasy çeşme materiala degişlidir we arassalamakda, aşındyrmakda, plýonka emele getirmekde, lehimlemekde we beýleki proseslerde giňden ulanylýar. Elektron gazyň esasy ulanylyş ugurlaryna elektronika senagaty, gün batareýalary, ykjam aragatnaşyk, awtoulag nawigasiýasy we awtoulag ses we wideo ulgamlary, awiakosmos, harby senagat we başga-da köp ugurlar girýär.
Elektron ýörite gazy öz himiki düzümine görä ýedi kategoriýa bölmek bolýar: kremniý, mysýak, fosfor, bor, metal gidridi, galogenid we metal alkoksidi. Integral mikrosxemalarda dürli ulanylyş usullaryna görä, ony doping gazy, epitaksiýa gazy, ion implantasiýa gazy, ýagtylyk çykarýan diod gazy, aşyndyrma gazy, himiki bug çökündi gazy we balans gazy diýip bölmek bolýar. Ýarymgeçiriji senagatynda 110-dan gowrak ýörite gaz birligi ulanylýar, olaryň 30-dan gowragy giňden ulanylýar.
Umuman, ýarymgeçirijiler önümçiligi senagaty gazlary iki görnüşe bölýär: umumy gazlar we ýörite gazlar. Olaryň arasynda umumy ulanylýan gaz merkezleşdirilen üpjünçilige degişlidir we N2, H2, O2, Ar, He we ş.m. ýaly köp gazy ulanýar. Ýörite gaz ýarymgeçirijiler önümçiligi prosesinde ulanylýan käbir himiki gazlara degişlidir, mysal üçin, uzaldyş, ion inýeksiýasy, garyşdyrma, ýuwmak we maska emele getirmek, häzirki wagtda elektron ýörite gaz diýip atlandyrýan zatlarymyz, mysal üçin, ýokary arassalykly SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 we ş.m.
Ýarymgeçirijiler senagatynyň tutuş önümçilik prosesinde, çipleriň ösmeginden başlap, enjamlaryň gutarnykly gaplanyşyna çenli, diýen ýaly her bir baglanyşyk elektron ýörite gazdan, ulanylýan gazyň dürliliginden we ýokary hil talaplaryndan aýrylmazdyr, şonuň üçin elektron gaz ýarymgeçiriji materiallara eýedir. "Azyk".
Soňky ýyllarda Hytaýyň ýarymgeçirijiler we displeý panelleri ýaly esasy elektron bölekleriniň täze önümçilik kuwwatlyklary artdy we elektron himiki materiallaryň import ornuny tutmaga uly isleg bar. Ýarymgeçirijiler senagatynda elektron gazlaryň orny barha artýar. Ýerli elektron gaz senagaty çalt ösüşe eýe bolar.
Elektron ýörite gazyň arassalyga bolan talaplary örän ýokary, sebäbi arassalyk talaplara laýyk gelmese, elektron ýörite gazyň içindeki suw bugy we kislorod ýaly hapaçylyk toparlary ýarymgeçirijiniň ýüzünde aňsatlyk bilen oksid plýonkasyny emele getirýär, bu bolsa elektron enjamlaryň hyzmat ediş möhletine täsir edýär we elektron ýörite gazyň düzüminde hapaçylyk bölejikleri ýarymgeçirijileriň gysga zynjyrlaryna we zynjyryň zeperlenmegine sebäp bolup biler. Arassalygyň gowulanmagynyň elektron enjamlaryň önümçiliginde we öndürijiliginde möhüm rol oýnaýandygyny aýtmak bolar.
Ýarymgeçirijiler senagatynyň üznüksiz ösmegi bilen çip öndürmek prosesi kämilleşmegini dowam etdirýär we häzir ol 5 nm-e ýetdi, bu bolsa Mur kanunynyň çägine golaýlaýar, bu bolsa adam saçynyň diametriniň ýigrimiden birine (takmynan 0,1 mm) deňdir. Şonuň üçin bu ýarymgeçirijiler tarapyndan öndürilýän elektron ýörite gazyň arassalygyna has ýokary talaplary öňe sürýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 15-nji dekabry
