2018-nji ýylda integral zynjyrlar üçin global elektron gaz bazary, geçen ýyl bilen deňeşdirilende 16% ýokarlap, 4,512 milliard ABŞ dollaryna ýetdi. Icarymgeçirijiler üçin elektron ýörite gaz pudagynyň ýokary ösüş depgini we ägirt uly bazar göwrümi elektron ýörite gazyň içerki çalyşma meýilnamasyny çaltlaşdyrdy!
Elektron gazy näme?
Elektron gaz ýarymgeçirijileri, tekiz panelli displeýleri, ýagtylyk çykaryjy diodlary, gün öýjüklerini we beýleki elektron önümlerini öndürmekde ulanylýan esasy çeşme materialyna degişlidir we arassalamak, ýuwmak, film döretmek, doping we beýleki amallarda giňden ulanylýar. Elektron gazyň esasy ulanylýan ugurlary elektronika senagatyny, gün öýjüklerini, ykjam aragatnaşyk, awtoulag nawigasiýasy we awtoulag ses we wideo ulgamlary, howa giňişligi, harby senagat we beýleki köp ugurlary öz içine alýar.
Elektron ýörite gaz, himiki düzümine görä ýedi kategoriýa bölünip bilner: kremniý, arsen, fosfor, bor, metal gidrid, halid we metal alkoksid. Integrirlenen zynjyrlarda dürli ulanylyş usullaryna görä, ony doping gazyna, epitaksi gazyna, ion implantasiýa gazyna, ýagtylyk çykaryjy diod gazyna, gaz çykaryjy gaza, himiki bug çökündi gazyna we balans gazyna bölmek bolar. Ondarymgeçiriji pudagynda ulanylýan 110-dan gowrak ýörite gaz bar, şolardan 30-dan gowragy köplenç ulanylýar.
Adatça ýarymgeçiriji önümçilik pudagy gazlary iki görnüşe bölýär: umumy gazlar we ýörite gazlar. Olaryň arasynda köplenç ulanylýan gaz merkezleşdirilen üpjünçiligi aňladýar we N2, H2, O2, Ar, He we başgalar ýaly köp gaz ulanýar, ýörite gaz ýarymgeçiriji öndürmek prosesinde ulanylýan käbir himiki gazlary aňladýar, meselem giňeltmek, ion sanjym etmek, garyşdyrmak, ýuwmak we maska emele getirmek, häzirki wagtda ýokary arassalykly SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, elektron ýörite gaz diýip atlandyrýan zadymyz. NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 we ş.m.
Ondarymgeçiriji pudagynyň ähli önümçilik prosesinde, çipiň ulalmagyndan soňky enjam gaplanyşyna çenli, her bir baglanyşyk diýen ýaly elektron ýörite gazdan we ulanylýan gazyň dürlüliginden we ýokary hilli talaplardan aýrylmaz, şonuň üçin elektron gaz ýarymgeçiriji materiallara eýe. “Iýmit”.
Soňky ýyllarda Hytaýyň ýarymgeçirijiler we displeý panelleri ýaly esasy elektron bölekleri täze önümçilik kuwwatyny artdyrdy we elektroniki himiki materiallaryň import edilmegine uly isleg bar. Elektron gazlaryň ýarymgeçiriji pudagyndaky orny barha artyp başlady. Içerki elektron gaz pudagy çalt öser.
Elektron ýörite gaz arassalygy üçin gaty ýokary talaplara eýedir, sebäbi arassalyk talaplara laýyk gelmeýän bolsa, elektron ýörite gazdaky suw bugy we kislorod ýaly hapa toparlar ýarymgeçirijiniň üstünde aňsatlyk bilen oksid filmini emele getirer, bu bolsa täsir edýär elektron enjamlaryň hyzmat ediş möhleti we elektron ýörite gaz öz içine hapa bölekler ýarymgeçirijiniň gysga utgaşmalaryna we zynjyryň zaýalanmagyna sebäp bolup biler. Arassalygyň gowulaşmagy elektron enjamlarynyň öndürilişinde we öndürijiliginde möhüm rol oýnaýar diýmek bolar.
Ondarymgeçiriji pudagynyň yzygiderli ösmegi bilen çip öndürmek prosesi gowulaşmagyny dowam etdirýär we indi 5nm-e ýetdi, bu bolsa Muryň kanunynyň çägine golaýlap, adam saçynyň diametriniň ýigrimisine deňdir ( takmynan 0,1 mm). Şonuň üçin bu hem ýarymgeçirijiler tarapyndan öndürilýän elektron ýörite gazyň arassalygyna has ýokary talaplary öňe sürýär.
Iş wagty: 15-2021-nji dekabry
