Has ösen önümçilik prosesi bolan ýarymgeçiriji wafli zawodlaryny öndürmek prosesinde 50-e golaý dürli görnüşli gaz gerek. Gazlar, umuman, köp gazlara bölünýär weýörite gazlar.

Gazlaryň mikroelektronika we ýarymgeçiriji pudaklarynda ulanylmagy ýarymgeçiriji proseslerde gazlaryň ulanylmagy hemişe möhüm rol oýnapdyr, esasanam ýarymgeçiriji prosesler dürli pudaklarda giňden ulanylýar. ULSI, TFT-LCD-den häzirki mikro-elektromehaniki (MEMS) senagatyna çenli ýarymgeçiriji prosesler önüm öndürmek prosesi hökmünde ulanylýar, gury eriş, okislenme, ion implantasiýasy, inçe film çökdürilmegi we ş.m.

Mysal üçin, çipleriň gumdan ýasalandygyny köp adam bilýär, ýöne çip öndürmegiň ähli prosesine seretseň, fotorezist, ýalpyldawuk suwuklyk, maksatly material, ýörite gaz we ş.m. ýaly has köp material gerek. Yzky gaplama, şeýle hem dürli materiallaryň substratlaryny, interposerlerini, gurşun çarçuwalaryny, baglanyşyk materiallaryny we ş.m. talap edýär. Elektron ýörite gazlar, ýarymgeçiriji önümçilik çykdajylarynda kremniý wafli, maskalar we fotorezistler bolsa ikinji ýerde durýar.

Gazyň arassalygy, komponentleriň işleýşine we önümiň öndürijiligine aýgytly täsir edýär we gaz üpjünçiliginiň howpsuzlygy işgärleriň saglygy we zawodyň işleýşi bilen baglanyşyklydyr. Näme üçin gazyň arassalygy proses liniýasyna we işgärlere şeýle uly täsir edýär? Bu ulaltmak däl, gazyň özi howply aýratynlyklary bilen kesgitlenýär.

Ondarymgeçiriji pudagynda umumy gazlaryň klassifikasiýasy

Dinönekeý gaz

Dinönekeý gaz köp mukdarda gaz hem diýilýär: arassalygy 5N-den pes we uly önümçilik we satuw mukdary bolan senagat gazyna degişlidir. Dürli taýýarlyk usullaryna laýyklykda howany bölmek gazyna we sintetiki gaza bölünip bilner. Wodorod (H2), azot (N2), kislorod (O2), argon (A2) we ş.m .;

Gasöriteleşdirilen gaz

Specialörite gaz, belli bir ugurlarda ulanylýan we arassalygy, dürlüligi we häsiýetleri üçin aýratyn talaplary bolan senagat gazyny aňladýar. EsasanSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... we ş.m.

Aýratyn gazlaryň görnüşleri

Specialörite gazlaryň görnüşleri: poslaýjy, zäherli, ýangyjy, ýangyjy goldaýan, inert we ş.m.
Köplenç ulanylýan ýarymgeçiriji gazlar aşakdaky ýaly toparlara bölünýär:
(i) Poslaýjy / zäherli:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBr 、 SiH2Cl2 、 NH3 、 PH3 、 Cl2 、BCl3…
(ii) ýanýan: H2 、CH4、SiH4、 PH3 、 AsH3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) ýangyjy: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3…
(iv) Inert: N2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Ol…

Ondarymgeçiriji çip öndürmek prosesinde okislenme, diffuziýa, çöketlik, efir, sanjym, fotolitografiýa we beýleki amallarda takmynan 50 dürli görnüşli gaz (ýörite gaz diýilýär) ulanylýar we umumy amal ädimleri ýüzlerçe geçýär. Mysal üçin, PH3 we AsH3 ion implantasiýa prosesinde fosfor we arsen çeşmesi hökmünde ulanylýar, F4 esasly gazlar CF4, CHF3, SF6 we galogen gazlar CI2, BCI3, HBr, eriş prosesinde köplenç ulanylýar, SiH4, NH3, N2O çökdürme film prosesi, F2 / Kr / Ne, Kr / Ne fotolitografiýa prosesinde.

Aboveokardaky taraplardan köp ýarymgeçiriji gazlaryň adam bedenine zyýanlydygyna düşünip bileris. Hususan-da, SiH4 ýaly käbir gazlar öz-özüni ýakýar. Syzýançalar howadaky kislorod bilen güýçli reaksiýa görkezerler we ýakyp başlarlar; we AsH3 gaty zäherlidir. Islendik sähelçe syzmak adamlaryň durmuşyna zyýan ýetirip biler, şonuň üçin ýörite gazlary ulanmak üçin dolandyryş ulgamynyň dizaýnynyň howpsuzlygy üçin talaplar has ýokarydyr.

Ondarymgeçirijiler ýokary arassa gazlaryň “üç dereje” bolmagyny talap edýärler

Gaz arassalygy

Gazdaky hapa atmosferanyň mazmuny, adatça, 99,9999% ýaly gaz arassalygynyň göterimi hökmünde aňladylýar. Umuman aýdanyňda, elektroniki ýörite gazlar üçin arassalyk talaby 5N-6N-e ýetýär, şeýle hem hapa atmosferanyň mukdary ppm (milliona bir bölek), ppb (milliard üçin bölek) we ppt (trillion üçin bir bölek) mukdary bilen aňladylýar. Elektron ýarymgeçiriji meýdany ýörite gazlaryň arassalygy we hil durnuklylygy üçin iň ýokary talaplara eýedir we elektron ýörite gazlaryň arassalygy adatça 6N-den ýokarydyr.

Guraklyk

Gazdaky yz suwunyň düzümi, ýa-da çyglylyk, adatça atmosfera çyg nokady -70 as ýaly çyg nokadynda aňladylýar.

Arassaçylyk

Gazdaky hapalaýjy bölejikleriň sany, µm bölejik bölejikleri näçe bölejikde / M3 bilen aňladylýar. Gysylan howa üçin, adatça ýagyň düzümini öz içine alýan gutulgysyz gaty galyndylaryň mg / m3 görnüşinde aňladylýar.