Memikulwent WanEfer waflenmek prosesinde 50-ä golaý meýdany takmynan 50-ä golaý görnüşli gazyň zerurdyr. Gazlar köplenç köp mukdarda gazlara bölünýär weSpecialörite gazlar.

"Miktelektronal" we ýarym "gazlaryň ulanylmagy, gazlaryň ulanylmagy, esasanam ýatlama prosessýekeslerinde hemişe möhüm rol oýnady, esasanam dürli pudaklarda dürli pudaklarda giňden ulanylýan gazyň ulanylmagy dürli pudaklarda dürli pudaklarda giňden ulanylýar. From ULSI, TFT-LCD to the current micro-electromechanical (MEMS) industry, semiconductor processes are used as product manufacturing processes, including dry etching, oxidation, ion implantation, thin film deposition, etc.

Mysal üçin, köp adamlar GILI-den ýasalandygyny, ýöne sotyrymist, ýöne berk önümçilik, ekip, serimat hereket etmek, maksatly material, ýörite gaz we ş.m. aýrylmazdyr. Dolanyşyň ahyrky paket bahaly gapgy, dartgynlylygy, saýlawlary, çeşmeleri, esasy ramgileri, baglanyşyk materiallaryny, obligasiýa materiallary, we ş.m. dürli materiallardan alyp barmagyny talap edýär. Elektron ýörite gazlar ýarym fabrik şafatlardan geçen ikinji uly materialdyr, yzarlanýar Maskalar we surata düşürijiler.

Gazyň arassalygyna ýetendigi baradaky arassalanan täsiri we gaz üpjünçiliginiň howpsuzlygy işgärleriň saglygy bilen baglanyşykly we zawodyň howpsuzlygy bilen baglanyşykly. Şeýle üçin, gazyň arassalygyny prosedura liniýasyna we işgärlere şeýle uly täsir edýär? Bu ululykdaky däl, eýsem gazyň howply aýratynlyklary bilen kesgitlenýär.

Ýarymgardawuklyk pudagynda umumy gazlaryň klassifikasiýasy

Adaty gaz

Adaty gaz köp gaz diýilýär: bu arassalyk talapl 5nden pes we uly önümçilik we satuw nazaryndan pes derejede senagat gazyny aňladýar. Bu dürli taýýarlykgyşyk usullaryna görä howa böleklerini gaz we sintetiki gaza bölmek mümkin. Wodorod (h2), azrogen (h2), kislorod (O2), kislorod (O2), argon (a2) we ş.m.

Hünärmeni

Gizlinliki gaz belli bir ugurlarda ulanylýan senagat gazyna degişlidir we arassalyk, dürlügi we häsiýetlendirmeler üçin ýörite talaplary bar. EsasanSih4, Ph3, B2H6, A8h3,HCL, CF4,Nh3, Sogl3, sih2cl2, sogcl3,Nh3, BCL3, SIFL3, COF3, COCB3, COMP3, C2F6, N2O, F2, HF, HF, HBR,Sf6... we ş.m.

SPRICA GARAPLAR görnüşleri

Dörite gazlaryň görnüşleri: Positionar, zäherli, ýanýan, içer-goldaw, içerde we ş.m.
Köplenç ulanylýan ýarym önüm meýdanlary aşakdaky ýaly bölüniş berýär:
(i) poslaýjy / zäherli:HCL, Bs3, WIF6, HBH6, Shric2c2, NH3, PH3, CSC CH2,BCL3...
(ii) lamampazup bolýan: H2,Ç4,Sih4JEGAL, CU3, sih2cL2, B2H6, Ç2f2, Ç2F2, Ç3F, CO3F, COM ...
(iii) ýanalýan: O2, C CL2, N2o, NF3 ...
(iv) inert: N2,CF4C2F6,C4f8,Sf6, CO2,Ne,Kr, Ol ...

Okidluctionation Gip alyş derejesinde, öküzler, bölünişik, sanjym, fotolitiografiýa we beýleki prosesler ýüzlerçedan has ýokarydyr. Mysal üçin, Pjek Wansentasiýa, ION ýazmak prosesi bolan Fosfon we arsen gazynyň (CHIG6 we Fotolitfografiýasynda F2 / Kr О NH3-de ulanylýar.

Aboveokardaky taraplardan köp ýarymikumik gazlaryň adam bedenine zyýan berýändigine düşünip bileris. Hususan-da, Sh ýaly käbir gazlaryň käbiri-de özüni yzarlaýarlar. SEA çurç bolançä, howada kislorod bilen kesel eder we ýanmaga başlaýarlar; we Aş3 gaty zäherlidir. Islendik az syzmak halkyň durmuşyna zyýan ýetirip biler, şonuň üçin ýörite gazlardan ulanmak üçin dolandyryş ulgamynyň howpsuzlygyny üpjün etmek üçin dolandyryş ulgamyny aýratyn ýokary.

Ýarym tegelekler "üç esse" bolmagy üçin ýokary arassalyk gazlaryny talap edýär

Gaz arassylygy

Gazdaky ýapratalygynyň mazmuny, adatça 99,9999% ýaly gaz arassalygynyň göterimi hökmünde görkezilýär. Umuman aýdanyňda, elektron ýörite gazlar üçin daşarky bahadan daşamak üçin 5N-6n-a çykýar we ppt (brilliteriň bölegi), PPB (bölek), PPB (bölek), PPB (bölek), PPB (bölek), PPB (bölek), PPB (bölek) we pPB (bölek) we pp-yň daş-töwerege hapalanulmyň hapa satyjynyň ses gatlagynyň ses gatlagyny. Elektron Secccentonenttor meýdançasy, esasanam bahalaryň arassalygy we hil durnuklylygy we elektron aýratyn gazlaryň arassalyçylygy üçin iň ýokary talaplara ýokary talaplarauy bar we elektron aýratyn gazlaryň arassalyçylygy üçin iň ýokary talaplaryna we adatça 6n-den uly.

Guraklyk

Gazdaky suwy yzyň ýa-da çyglylygyň mazmuny ýa-da çyglylygyň mazmuny -70 ℃.

Arassaçylyk

Gazdaky gazdaky, bölejikdäki bölejikleriň mezheb agzalarynyň sany, μM-iň bölejiginde bölejikdäki hapalaýan bölejikleriň sany köp bölejiklerde / m3-e görkezilýär. Garaşykly howada nebit mazmuny girýän mg / m3-de öňe gelýänsiz gaty ýaşaýyş jaýlarynda beýan edilip bilinmeýän berk galyndylarda görkezilýär.