Wodorod hloridiysly reňksiz gazdyr. Onuň suwly erginine gidroklor turşusy diýilýär, gidroklor turşusy hem diýilýär. Wodorod hloridi suwda gaty erär. 0 ° C-de 1 göwrümli suw takmynan 500 tom wodorod hloridi eräp biler.

Aşakdaky häsiýetleri we aýratynlyklary bar:

1. Highokary arassalyk

Elektron derejäniň arassalygywodorod hloridiýarymgeçiriji önümçilik prosesine hiç hili hapalaryň girmezligini üpjün etmek üçin, adatça ppm ýa-da has pes derejede.

2. Önümsizlik

Icarymgeçiriji materiallaryň we enjamlaryň hapalanmagynyň öňüni almak üçin beýleki köp maddalar bilen reaksiýa bermeýän himiki taýdan inert gazdyr.

3. stabilityokary durnuklylyk

Elektron bahawodorod hloridiköplenç ýarymgeçirijiniň ygtybarly gaýtadan işlenmegini üpjün etmek üçin durnukly himiýa bar.

Ondarymgeçirijini gaýtadan işlemekde elektron derejeli wodorod hloridiň esasy goşundylary:

1. faceerüsti arassalamak we taýýarlamak

Netijeli ýerüsti arassalaýjy, elektron derejesiwodorod hloridiepitaksial gatlagyň ýa-da filmiň hilini we arassalygyny üpjün etmek üçin substratyň üstündäki oksidleri we hapalary aýyrmak üçin ulanylýar.

2.Epitaksial ösüş kömegi

Epitaksial prosesde ýerüsti bejeriş serişdesi hökmünde ulanylýan epitaksial gatlagyň hilini ýokarlandyrmaga, panjara laýyklygyny gowulaşdyrmaga we panjara kemçilikleriniň döremegini azaltmaga kömek edýär.

3. Substrat görnüşi

Ondarymgeçiriji enjamlary taýýarlamazdan ozal, elektron derejesiwodorod hloridiepitaksial gatlak bilen substratyň arasyndaky ýapyşmagy gowulandyrmak üçin durnukly binýady emele getirmek üçin substratyň üstüni bejermek üçin ulanylyp bilner.

4. Depozit kömekçi agent

Himiki buglary çökdürmek (CVD) ýa-da fiziki bug çökdürmek (PVD) prosesinde, ýarymgeçiriji materiallaryň çökdüriliş reaksiýasyna gatnaşmak üçin elektron derejeli wodorod hlorid gaz fazasy geçiriji serişdesi hökmünde ulanylyp bilner.

5. Gaz fazaly geçiriji

Gaz fazaly geçiriji serişde hökmünde, beýleki gazly prekursorlar reaksiýa kamerasyna materialyň çökdüriliş tizligini we birmeňzeşligini sazlamak üçin girizilýär.

Bu aýratynlyklar elektron derejesini döredýärwodorod hloridiSoňky enjamyň işleýşine we ygtybarlylygyna esasy täsir edýän ýarymgeçiriji tehnologiýada möhüm gaýtadan işleýän serişde.

Icarymgeçirijini gaýtadan işlemekde ulanmakdan başga-da, elektron derejeli wodorod hlorid beýleki ugurlarda dürli ulanyşlary tapyp biler, şol sanda: purokary arassalyk materiallaryny taýýarlamak, ýangyç öýjükleri, ýarymgeçiriji materiallaryň ösüşi, bug fazasynyň litografiýasy, material derňewi, himiki gözleg.

Umuman, elektron derejesiwodorod hloridiýarymgeçiriji önümçiliginiň daşyndaky köp sanly amaly bolan köpugurly, ýokary arassa gazdyr.