Wodorod hloridýiti ysly reňksiz gazdyr. Onuň suwdaky ergini duz turşusy diýilýär, ol duz turşusy diýlip hem atlandyrylýar. Wodorod hlorid suwda örän ereýär. 0°C-de 1 göwrüm suw takmynan 500 göwrüm wodorod hloridini eredip bilýär.

Onuň aşakdaky häsiýetleri we aýratynlyklary bar:

1. Ýokary arassalyk

Elektron derejeli arassalykwodorod hloridýarymgeçirijileriň önümçilik prosesine hiç hili hapaçylyklaryň goşulmazlygyny üpjün etmek üçin, adatça ppm ýa-da ondan pes derejede örän ýokarydyr.

2. Inertlik

Ol himiki taýdan inert gaz bolup, başga köp maddalar bilen reaksiýa girmeýär, bu bolsa ýarymgeçiriji materiallaryň we enjamlaryň hapalanmagynyň öňüni almak üçin örän möhümdir.

3. Ýokary durnuklylyk

Elektron derejewodorod hloridadatça ygtybarly ýarymgeçiriji işleme üpjün etmek üçin durnukly himiýa eýedir.

Ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemekde elektron derejeli wodorod hloridiň esasy ulanylyşlary aşakdakylary öz içine alýar:

1. Ýüzüni arassalamak we taýýarlamak

Netijeli ýüz arassalaýjy hökmünde, elektron derejeliwodorod hloridepitaksial gatlagyň ýa-da plýonkanyň hilini we arassalygyny üpjün etmek üçin substratyň ýüzünden oksidleri we hapaçylyklary aýyrmak üçin ulanylýar.

2. Epitaksial ösüş kömegi

Epitaksial prosesde ýüzleý işläp bejeriş serişdesi hökmünde ulanylýan bu serişde epitaksial gatlagyň hilini ýokarlandyrmaga, toruň gabat gelmegini gowulandyrmaga we tor kemçilikleriniň emele gelmegini azaltmaga kömek edýär.

3. Substratyň öňünden işlenilmegi

Ýarymgeçiriji enjamlary taýýarlamazdan öň, elektron derejeliwodorod hloridepitaksial gatlak bilen substratyň arasyndaky ýelmeşmäni gowulandyrmak üçin durnukly esas döretmek maksady bilen substratyň ýüzüni işläp bejermek üçin ulanylyp bilner.

4. Çökdürme kömekçi agenti

Himiki bug çökündisi (CVD) ýa-da fiziki bug çökündisi (PVD) prosesinde, elektron derejeli wodorod hlorid ýarymgeçiriji materiallaryň çökündisi reaksiýasyna gatnaşmak üçin gaz fazasyny geçirýän serişde hökmünde ulanylyp bilner.

5. Gaz fazasyny geçirýän agent

Gaz fazasyny geçirýän agent hökmünde, materialyň çökme tizligini we deňligini sazlamaga kömek etmek üçin reaksiýa kamerasyna beýleki gaz görnüşli prekursorlar girizilýär.

Bu aýratynlyklar elektron derejeli derejäni döredýärwodorod hloridýarymgeçiriji tehnologiýasynda möhüm gaýtadan işleýän agent bolup, ol gutarnykly enjamyň işine we ygtybarlylygyna möhüm täsir edýär.

Ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemekde ulanylmagyndan başga-da, elektron derejeli wodorod hloridi beýleki ugurlarda, şol sanda: ýokary arassa materiallary taýýarlamakda, ýangyç elementlerinde, ýarymgeçiriji materiallarynyň ösdürilip ýetişdirilmeginde, bug faza litografiýasynda, materiallaryň seljermesinde, himiki barlaglarda dürli maksatlarda ulanylyp bilner.

Umuman, elektron derejeliwodorod hloridýarymgeçiriji önümçiliginden daşary giň gerimli ulanylyşa eýe bolan köpugurly, ýokary arassa gazdyr.