Lazer gazy, esasan, elektronika senagatynda lazer bilen ýumşatmak we litografiýa gazy üçin ulanylýar. Mobil telefon ekranlarynyň innowasiýasyndan we ulanylyş çäkleriniň giňeldilmeginden peýdalanyp, pes temperaturaly polisilikon bazarynyň möçberi has-da giňeler we lazer bilen ýumşatmak prosesi TFT-leriň işini ep-esli gowulandyrdy. Ýarymgeçirijileri öndürmek üçin ArF eksimer lazerinde ulanylýan neon, ftor we argon gazlarynyň arasynda neon lazer gaz garyndysynyň 96% -den gowragyny düzýär. Ýarymgeçiriji tehnologiýasynyň kämilleşdirilmegi bilen eksimer lazerleriniň ulanylyşy artdy we iki esse täsir tehnologiýasynyň ornaşdyrylmagy ArF eksimer lazerleri tarapyndan sarp edilýän neon gazyna bolan islegiň keskin artmagyna getirdi. Elektron ýöriteleşdirilen gazlaryň ýerlileşdirilmeginiň ösdürilmeginden peýdalanyp, ýerli önüm öndürijiler geljekde has gowy bazar ösüş giňişligine eýe bolarlar.
Litografiýa enjamy ýarymgeçiriji önümçiliginiň esasy enjamydyr. Litografiýa tranzistorlaryň ölçeglerini kesgitleýär. Litografiýa senagat zynjyrynyň utgaşdyrylan ösüşi litografiýa enjamynyň öňe gitmeginiň açarydyr. Fotorezist, fotolitografiýa gazy, fotomaska we örtük we işläp düzýän enjamlar ýaly gabat gelýän ýarymgeçiriji materiallar ýokary tehnologiki mazmuna eýedir. Litografiýa gazy litografiýa enjamynyň çuňňur ultramelewşe lazer öndürýän gazydyr. Dürli litografiýa gazlary dürli tolkun uzynlyklaryndaky ýagtylyk çeşmelerini öndürip bilýär we olaryň tolkun uzynlygy litografiýa enjamynyň ýadrolarynyň biri bolan litografiýa enjamynyň çözgüdine gönüden-göni täsir edýär. 2020-nji ýylda litografiýa enjamlarynyň umumy global satuwy 413 birlige deň bolar, şol sanda ASML satuwy 258 birlik 62%, Canon satuwy 122 birlik 30% we Nikon satuwy 33 birlik 8% boldy.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 15-nji oktýabry
