Bor trihloridi (BCl3)ýarymgeçirijiler önümçiliginde gurak aşındyrma we himiki bug çökündisi (CVD) proseslerinde giňden ulanylýan organiki däl birleşmedir. Ol otag temperaturasynda güýçli ýiti ysly reňksiz gazdyr we çygly howa duýgurdyr, sebäbi ol gidrolizlenip duz we bor kislotasyny öndürýär.

Bor Trihloridiň ulanylyşlary

Ýarymgeçirijiler senagatynda,Bor trihloridiesasan alýuminiýi gurak aşındyrmak üçin we kremniý plitalarynda P-tipli sebitleri emele getirmek üçin garyndy hökmünde ulanylýar. Şeýle hem, ol GaAs, Si, AlN ýaly materiallary aşındyrmak üçin we belli bir ulanylyşlarda bor çeşmesi hökmünde ulanylyp bilner. Mundan başga-da, bor trihloridi metal gaýtadan işlemekde, aýna senagatynda, himiki analizde we laboratoriýa barlaglarynda giňden ulanylýar.

Bor Trihloridiň howpsuzlygy

Bor trihloridiposlaýjy we zäherli bolup, gözlere we deri üçin agyr zyýan ýetirip biler. Ol çygly howada gidrolizlenip, zäherli wodorod hlorid gazyny çykarýar. Şonuň üçin, ulanylanda degişli howpsuzlyk çäreleri görülmelidir.Bor trihloridi, şol sanda gorag eşiklerini, gözlükleri we dem alyş ýollaryny goraýjy enjamlary geýmek, şeýle hem howasy gowy geçýän ýerde işlemek.