Ultra ýokary arassalyk (UHP) gazlary ýarymgeçiriji pudagynyň ömri ganydyr. Global üpjünçilik zynjyrlarynda görlüp-eşidilmedik isleg we bökdençlikler aşa ýokary basyşly gazyň bahasyny ýokarlandyrýarka, täze ýarymgeçirijiniň dizaýny we önümçilik tejribesi hapalanmaga gözegçilik derejesini ýokarlandyrýar. Ondarymgeçiriji öndürijiler üçin UHP gazynyň arassalygyny üpjün etmek öňküsinden has möhümdir.

Ultra ýokary arassalyk (UHP) gazlary häzirki zaman ýarymgeçiriji önümçiliginde düýbünden möhümdir

UHP gazynyň esasy ulanyşlaryndan biri inertizasiýa: UHP gazy ýarymgeçiriji komponentleriň töwereginde gorag atmosferasyny üpjün etmek üçin ulanylýar, şeýlelik bilen olary atmosferadaky çyglylygyň, kislorodyň we beýleki hapalaýjylaryň zyýanly täsirlerinden goraýar. Şeýle-de bolsa, inertizasiýa gazlaryň ýarymgeçiriji pudagynda ýerine ýetirýän köp dürli funksiýalarynyň biridir. Esasy plazma gazlaryndan başlap, dökmekde we gyzdyrmakda ulanylýan reaktiw gazlara çenli ultra ýokary basyşly gazlar köp dürli maksat bilen ulanylýar we ýarymgeçiriji üpjünçilik zynjyrynda möhümdir.

Ondarymgeçiriji pudagynda käbir “esasy” gazlar barazot(umumy arassalaýyş we inert gazy hökmünde ulanylýar),argon(dökülmekde we çökdürmekde esasy plazma gazy hökmünde ulanylýar),geliý(ýörite ýylylyk geçiriji häsiýetli inert gazy hökmünde ulanylýar) wewodorod(garyşdyrmak, çökdürmek, epitaksiýa we plazmany arassalamakda birnäçe rol oýnaýar).

Ondarymgeçiriji tehnologiýasy ösüp, üýtgänsoň, önümçilik prosesinde ulanylýan gazlar hem üýtgedi. Häzirki wagtda ýarymgeçiriji önümçilik zawodlary ýaly asylly gazlardan başlap, köp sanly gaz ulanýarkryptonweneonazot triflorid (NF 3) we wolfram geksaflorid (WF 6) ýaly reaktiw görnüşlere.

Arassaçylyga bolan isleg

Ilkinji täjirçilik mikroçip oýlanyp tapylaly bäri, dünýä ýarymgeçiriji enjamlaryň işleýşinde haýran galdyryjy ýakyn ösüşe şaýat boldy. Soňky bäş ýylda bu hili öndürijiligi gowulandyrmagyň iň ygtybarly usullaryndan biri “ululygy ulaltmak” boldy: belli bir giňişlige has köp tranzistorlary gysmak üçin bar bolan çip arhitekturasynyň esasy ölçeglerini azaltmak. Bulardan başga-da, täze çip arhitekturasynyň ösdürilmegi we iň täze materiallaryň ulanylmagy enjamyň işleýşinde böküşleri döretdi.

Häzirki wagtda iň soňky ýarymgeçirijileriň kritiki ölçegleri indi şeýle bir kiçidir welin, ululygy ulaltmak enjamyň işleýşini gowulandyrmak üçin amatly usul däl. Munuň ýerine ýarymgeçiriji gözlegçiler täze materiallar we 3D çip arhitekturasy görnüşinde çözgüt gözleýärler.

Onýyllyklaryň ýadawsyz täzeden dizaýn edilmegi, häzirki ýarymgeçiriji enjamlaryň köne mikroçiplerden has güýçlidigini aňladýar, ýöne olar has gowşak. 300 mm wafli ýasamak tehnologiýasynyň peýda bolmagy ýarymgeçiriji öndürmek üçin zerur bolan haramlygy gözegçilik derejesini ýokarlandyrdy. Önümçilik prosesinde sähelçe hapalanmak (esasanam seýrek ýa-da inert gazlar) enjamlaryň betbagtçylygyna sebäp bolup biler - şonuň üçin gazyň arassalygy indi öňküsinden has möhümdir.

Adaty ýarymgeçiriji öndürýän zawod üçin ultra ýokary arassa gaz, kremniniň özünden soň iň uly material çykdajylarydyr. Bu çykdajylaryň diňe ýarymgeçirijilere bolan islegiň täze belentliklere çykmagy bilen ýokarlanmagyna garaşylýar. Europeewropadaky wakalar aşa ýokary basyşly tebigy gaz bazaryna goşmaça päsgelçilik döretdi. Ukraina dünýäde ýokary arassalygy eksport edýän ýurtlaryň biridirneonalamatlar; Russiýanyň çozmagy seýrek gaz üpjünçiliginiň çäklendirilendigini aňladýar. Bu bolsa öz gezeginde beýleki asylly gazlaryň ýetmezçiligine we bahalarynyň ýokarlanmagyna sebäp boldykryptonweksenon.