Ultra ýokary arassalyk (UHP) gazlary ýarymgeçirijiler senagatynyň jan damarydyr. Görlüp-eşidilmedik isleg we global üpjünçilik zynjyrlaryndaky bökdençlikler ultra ýokary basyşly gazyň bahasyny ýokarlandyrýarka, täze ýarymgeçiriji dizaýn we önümçilik tejribeleri zerur bolan hapalanma gözegçiliginiň derejesini ýokarlandyrýar. Ýarymgeçirijiler öndürijileri üçin UHP gazynyň arassalygyny üpjün etmek öňküden has möhümdir.

Ultra Ýokary Arassalyk (UHP) Gazlary häzirki zaman ýarymgeçirijiler önümçiliginde örän möhümdir

UHP gazynyň esasy ulanylyşlarynyň biri inertleşdirmedir: UHP gazy ýarymgeçiriji bölekleriň töwereginde gorag atmosferasyny döretmek we şonuň bilen olary atmosferadaky çyglylygyň, kislorodyň we beýleki hapaçylyklaryň zyýanly täsirlerinden goramak üçin ulanylýar. Şeýle-de bolsa, inertleşdirme gazlaryň ýarymgeçiriji senagatynda ýerine ýetirýän köp dürli funksiýalarynyň diňe biridir. Ilkinji plazma gazlaryndan başlap, aşyndyrma we ýumşatmada ulanylýan reaktiv gazlara çenli, örän ýokary basyşly gazlar köp dürli maksatlar üçin ulanylýar we ýarymgeçiriji üpjünçilik zynjyrynda möhümdir.

Ýarymgeçirijiler senagatyndaky käbir "esasy" gazlar şulary öz içine alýarazot(umumy arassalaýyş we inert gaz hökmünde ulanylýar),argon(aşyrmak we çökündi reaksiýalarynda esasy plazma gazy hökmünde ulanylýar),geliý(ýörite ýylylyk geçirijilik häsiýetlerine eýe bolan inert gaz hökmünde ulanylýar) wewodorod(taýlamakda, çökündide, epitaksiýada we plazma arassalamakda köp sanly rol oýnaýar).

Ýarymgeçiriji tehnologiýasy ösüp we üýtgedikçe, önümçilik prosesinde ulanylýan gazlar hem ösdi. Häzirki wagtda ýarymgeçiriji önümçilik zawodlary dürli gazlary ulanýarlar, şol sanda asylly gazlar, mysal üçin,kriptonweneonazot triflorid (NF3) we volfram geksaflorid (WF6) ýaly reaktiw görnüşlere.

Arassalyga bolan islegiň artmagy

Ilkinji täjirçilik mikroçipiniň oýlap tapylmagyndan bäri, dünýä ýarymgeçiriji enjamlaryň öndürijiliginiň haýran galdyryjy derejede eksponensial ýokarlanmagyna şaýat boldy. Soňky bäş ýylyň dowamynda bu hili öndürijiligi ýokarlandyrmagyň iň ygtybarly usullarynyň biri "ölçeg ölçeklendirmek" arkaly boldy: belli bir giňişlige has köp tranzistorlary sygdyrmak üçin bar bolan çip arhitekturalarynyň esasy ölçeglerini azaltmak. Mundan başga-da, täze çip arhitekturalarynyň işlenip düzülmegi we iň öňdebaryjy materiallaryň ulanylmagy enjamlaryň öndürijiliginde uly ösüşlere getirdi.

Häzirki wagtda öňdebaryjy ýarymgeçirijileriň möhüm ölçegleri şeýle kiçi bolansoň, ölçegleri ölçeklendirmek indi enjamyň işini gowulandyrmagyň amatly usuly däl. Munuň ýerine, ýarymgeçirijileri öwrenýän alymlar täze materiallar we 3D çip arhitekturalary görnüşinde çözgüt gözleýärler.

Onýyllyklaryň dowamynda ýadawsyz täzeden dizaýn etmek häzirki zaman ýarymgeçiriji enjamlarynyň öňki mikroçiplerden has güýçlidigini aňladýar - ýöne olar has ejiz hem. 300 mm wafer öndürmek tehnologiýasynyň peýda bolmagy ýarymgeçiriji önümçiligi üçin zerur bolan hapaçylyk gözegçiliginiň derejesini ýokarlandyrdy. Önümçilik prosesinde hatda iň kiçi hapalanma (esasanam seýrek ýa-da inert gazlar) enjamlaryň betbagtçylykly näsazlygyna sebäp bolup biler - şonuň üçin gazyň arassalygy indi öňküden has möhümdir.

Adaty ýarymgeçirijileri öndürýän zawod üçin ultra ýokary arassa gaz eýýäm kremniýden soň iň uly material çykdajylarydyr. Bu çykdajylaryň diňe ýarymgeçirijilere bolan isleg täze belentliklere çykanda artmagyna garaşylýar. Ýewropada bolan wakalar dartgynly ultra ýokary basyşly tebigy gaz bazarynda goşmaça päsgelçiliklere sebäp boldy. Ukraina dünýäde ýokary arassa gaz eksportçylarynyň iň ulylarynyň biridir.neonalamatlar; Orsýetiň çozuş etmegi seýrek gazyň üpjünçiliginiň çäklendirilýändigini aňladýar. Bu bolsa öz gezeginde beýleki gymmatly gazyň ýetmezçiligine we bahalarynyň ýokarlanmagyna getirdi, mysal üçinkriptonweksenon.