Uglerod Tetrafluorid (CF4)

Tehniki parametrler

Uglerod tetrafluoridi CF4 himiki formulasy bilen galogen uglewodoroddyr. Galogen uglewodorod, galogen metan, perflorokarbon ýa-da organiki däl birleşme hökmünde kabul edip bolar. Uglerod tetraflorid reňksiz we yssyz gaz, suwda eräp bilmeýän, benzolda we hloroformda ereýär. Adaty temperaturada we basyşda durnukly, güýçli oksidantlardan, ýanýan ýa-da ýanýan materiallardan gaça duruň. Combangyjy däl gaz, ýokary yssy täsir edende gapyň içki basyşy ýokarlanar we ýarylmak we partlamak howpy bar. Himiki taýdan durnukly we ýangyjy däl. Otag temperaturasynda diňe suwuk ammiak-natriý metal reagenti işläp biler. Uglerod tetraflorid teplisanyň täsirine sebäp bolýan gazdyr. Örän durnukly, atmosferada uzak wagtlap galyp bilýär we gaty güýçli parnik gazydyr. Uglerod tetrafluorid dürli integral zynjyrlaryň plazma emele getiriş prosesinde ulanylýar. Şeýle hem lazer gazy hökmünde ulanylýar we infragyzyl detektorlar üçin pes temperaturaly sowadyjylarda, erginlerde, çalgy ýaglarynda, izolýasiýa materiallarynda we sowadyjylarda ulanylýar. Mikroelektronika pudagynda iň köp ulanylýan plazma gazlandyryjy gazdyr. Bu tetrafluorometan ýokary arassa gaz bilen tetrafluorometan ýokary arassa gaz we ýokary arassa kislorodyň garyndysy. Silikon, kremniniň dioksidi, kremniniň nitridi we fosfosilikat aýnasynda giňden ulanylyp bilner. Volfram we wolfram ýaly inçe film materiallarynyň emele gelmegi elektron enjamlaryň ýerüsti arassalanmagynda, gün öýjükleriniň öndürilişinde, lazer tehnologiýasynda, pes temperaturaly sowadyjyda, syzdyryjy barlagda we çap edilen zynjyrda ýuwujy serişdelerde giňden ulanylýar. Integrirlenen zynjyrlar üçin pes temperaturaly sowadyjy we plazma gury eriş tehnologiýasy hökmünde ulanylýar. Saklamak üçin seresaplyklar: Salkyn, şemalladylýan ýanmaýan gaz ammarynda saklaň. Otdan we ýylylyk çeşmelerinden daşda duruň. Saklaýyş temperaturasy 30 ° C-den geçmeli däldir. Ony aňsat (ýanýan) ýangyjylardan we oksidantlardan aýratyn saklamaly we garyşyk ammarlardan gaça durmaly. Saklanylýan ýer syzdyryjy gyssagly bejeriş enjamlary bilen enjamlaşdyrylmalydyr.

Arza:

① Sowadyjy:

Tetrafluorometan käwagt pes temperatura sowadyjy hökmünde ulanylýar.

Ing Etching:

Diňe elektronikanyň mikrofabriki önümçiliginde ýa-da kremniniň, kremniniň dioksidi we kremniniň nitridi üçin plazma etanty hökmünde kislorod bilen bilelikde ulanylýar.

Adaty paket:

Üstünligi:

Ighokary arassalyk, iň täze desga;

②ISO şahadatnama öndürijisi;

Ast Çalt eltip bermek;

Every Her ädimde hil gözegçiligi üçin bir setir derňew ulgamy;

Sil Silindri doldurmazdan ozal işlemek üçin ýokary talap we oýlanyşykly amal;