Tetraflorid uglerody (CF4)

Tehniki parametrler

Uglerod tetraflorid CF4 himiki formulasy bolan galogenleşdirilen uglewodoroddyr. Ony galogenleşdirilen uglewodorod, galogenleşdirilen metan, perftoruglerod ýa-da organiki däl birleşme hökmünde kabul edip bolýar. Uglerod tetraflorid reňksiz we yssyz gazdyr, suwda eremeýär, benzolda we hloroformda ereýär. Adaty temperaturada we basyşda durnukly, güýçli oksidleýjilerden, ýanýan ýa-da ýanýan materiallardan gaça duruň. Ýanmaýan gaz, ýokary gyzgynlyga sezewar edilende gapyň içki basyşy artar we ýarylma we partlama howpy bar. Ol himiki taýdan durnukly we ýanmaýandyr. Diňe suwuk ammiak-natriý metal reagent otagyň temperaturasynda işläp biler. Uglerod tetraflorid parnik effektini döredýän gazdyr. Ol örän durnukly, atmosferada uzak wagtlap galyp bilýär we örän güýçli parnik gazydyr. Uglerod tetraflorid dürli integral mikrosxemalaryň plazma aşındyrma prosesinde ulanylýar. Şeýle hem lazer gazy hökmünde ulanylýar we infragyzyl detektorlar üçin pes temperaturaly sowadyjylarda, erginlerde, ýaglaýjylarda, izolýasiýa materiallarynda we sowadyjylarda ulanylýar. Ol mikroelektronika senagatynda iň köp ulanylýan plazma aşyndyryş gazydyr. Ol tetraflorometan ýokary arassa gazynyň we tetraflorometan ýokary arassa gazynyň we ýokary arassa kislorodyň garyndysydyr. Ol kremniýde, kremniý dioksidinde, kremniý nitridinde we fosfosilikat aýnasynda giňden ulanylyp bilner. Wolfram we volfram ýaly inçe plýonka materiallarynyň aşyndyrylmagy elektron enjamlaryň ýüzüni arassalamakda, gün batareýalaryny öndürmekde, lazer tehnologiýasynda, pes temperaturaly sowadyjyda, syzma barlagynda we çap edilen zynjyr önümçiliginde ýuwujy serişde hökmünde hem giňden ulanylýar. Integral zynjyrlar üçin pes temperaturaly sowadyjy we plazma gurak aşyndyryş tehnologiýasy hökmünde ulanylýar. Saklamak üçin howpsuzlyk çäreleri: Salgyn, howalandyrylýan, ýanmaýan gaz ammarynda saklaň. Ot we ýylylyk çeşmelerinden daşda saklaň. Saklama temperaturasy 30°C-den geçmeli däl. Ol aňsat (ýanýan) ýanýan maddalardan we oksidleýjilerden aýratyn saklanmaly we garyşyk saklamakdan gaça durmaly. Saklama ýeri syzma adatdan daşary bejeriş enjamlary bilen üpjün edilmelidir.

Ulanyş:

① Sowadyjy serişde:

Tetrafluormetan käwagt pes temperaturaly sowadyjy serişde hökmünde ulanylýar.

② Oýmak:

Ol elektronika mikrofabrikasiýasynda ýeke özi ýa-da kislorod bilen bilelikde kremniý, kremniý dioksidi we kremniý nitridi üçin plazma aşgarlaýjy hökmünde ulanylýar.

Adaty paket:

Artykmaçlyk:

①Ýokary arassalyk, iň täze enjam;

②ISO sertifikatyny öndüriji;

③Çalt eltip bermek;

④Her ädimde hil gözegçiligi üçin onlaýn analiz ulgamy;

⑤Silin doldurmazdan öň ony ulanmak üçin ýokary talaplar we jikme-jik proses;