Gury arassalamak tehnologiýasy esasy proseslerden biridir. Gury eriş gazy ýarymgeçiriji önümçiliginde esasy material we plazma dökülmegi üçin möhüm gaz çeşmesidir. Onuň öndürijiligi soňky önümiň hiline we öndürijiligine gönüden-göni täsir edýär. Bu makala esasan gury eriş prosesinde köplenç ulanylýan gaz gazlarynyň nämedigini paýlaşýar.
Ftor esasly gazlar: ýalyuglerod tetraflorid (CF4), geksafluoroetan (C2F6), triflorometan (CHF3) we perfluoropropan (C3F8). Bu gazlar kremniniň we kremniniň birleşmelerini çykaranda üýtgäp durýan ftoridleri netijeli döredip biler we şeýlelik bilen material ýok edilmegine ýeter.
Hlor esasly gazlar: hlor (Cl2) ýaly,bor trihloridi (BCl3)we kremniý tetrahlorid (SiCl4). Hlor esasly gazlar, dökülme prosesinde hlorid ionlaryny üpjün edip biler, bu bolsa akymyň tizligini we seçimliligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Brom esasly gazlar: brom (Br2) we brom ýody (IBr) ýaly. Brom esasly gazlar, esasanam kremniy karbid ýaly gaty materiallary çykaranda, belli bir emele geliş prosesinde has gowy täsir edip biler.
Azot we kislorod esasly gazlar: azot triflorid (NF3) we kislorod (O2) ýaly gazlar. Bu gazlar, adatça akymyň seçimliligini we ugrukdyrylyşyny gowulandyrmak üçin dökülme prosesinde reaksiýa şertlerini sazlamak üçin ulanylýar.
Bu gazlar, plazma dökülende fiziki tüýkürme we himiki reaksiýalaryň utgaşmasy arkaly material ýüzüniň takyk çişmegine ýetýär. Dökýän gazyň saýlanylmagy, çykaryljak materialyň görnüşine, dökülmäniň saýlama talaplaryna we islenýän tizligine baglydyr.
Iş wagty: Fewral-08-2025
