Gury aşındyrma tehnologiýasy esasy prosesleriň biridir. Gury aşındyrma gazy ýarymgeçiriji önümçiliginde esasy material we plazma aşındyrmasy üçin möhüm gaz çeşmesidir. Onuň işleýşi gutarnykly önümiň hiline we işleýşine gönüden-göni täsir edýär. Bu makalada esasan gury aşındyrma prosesinde giňden ulanylýan aşındyrma gazlary paýlaşylýar.
Ftor esasly gazlar: meselemuglerod tetraflorid (CF4), geksaftoretan (C2F6), triftormetan (CHF3) we perftorpropan (C3F8). Bu gazlar kremniý we kremniý birleşmelerini aşyndyranda uçujy ftoridleri netijeli döredip, şeýlelik bilen materiallaryň aýrylmagyny üpjün edip bilýär.
Hlor esasly gazlar: meselem, hlor (Cl2),bor trihloridi (BCl3)we kremniý tetrahloridi (SiCl4). Hlor esasly gazlar aşyndyrma prosesinde hlorid ionlaryny üpjün edip biler, bu bolsa aşyndyrma tizligini we selektiwligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Brom esasly gazlar: meselem, brom (Br2) we brom ýodidi (IBr). Brom esasly gazlar käbir aşındyrma proseslerinde, esasanam kremniý karbidi ýaly gaty materiallary aşındyranda has gowy aşındyrma işini üpjün edip biler.
Azot esasly we kislorod esasly gazlar: meselem, azot triflorid (NF3) we kislorod (O2). Bu gazlar, adatça, aşındyrma prosesinde reaksiýa şertlerini sazlamak üçin ulanylýar, bu bolsa aşındyrmanyň selektiwligini we ugruny gowulandyrýar.
Bu gazlar plazma aşyndyryş wagtynda fiziki püskürtme we himiki reaksiýalaryň utgaşmasy arkaly materialyň ýüzüniň takyk aşyndyrylmagyny üpjün edýär. Aşyndyryş gazynyň saýlanmagy aşyndyryljak materialyň görnüşine, aşyndyryşyň saýlama talaplaryna we islenýän aşyndyryş tizligine baglydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 8-nji fewraly
